Новости Hardware

В США разработана новая технология производства нанометровых полупроводников

Дальнейшее развитие микроэлектроники невозможно представить без совершенствования технологий производства полупроводников. Чтобы расширить границы и научиться выпускать всё более мелкие элементы на кристаллах нужны новые технологии и новые инструменты. Одной из таких технологий может стать прорывная разработка американских учёных.

Группа исследователей из Аргоннской национальной лаборатории Министерства энергетики США разработала новую методику создания и травления тончайших плёнок на поверхности кристаллов. Потенциально это может привести к производству чипов с меньшими масштабами технологических норм, чем сегодня и в ближайшей перспективе. Публикация об исследовании размещена в журнале Chemistry of Materials.

Предложенная методика напоминает традиционный процесс атомно-слоевого осаждения и травления, только вместо неорганических плёнок новая технология создаёт и работает с органическими плёнками. Собственно, по аналогии новая технология названа молекулярно-слоевым осаждением (MLD, molecular layer deposition) и молекулярно-слоевым травлением (MLE, molecular layer etching).

Как и в случае атомно-слоевого травления метод MLE использует газовую обработку в камере поверхности кристалла с плёнками из материала на органической основе. Кристалл циклически обрабатывается двумя разными газами попеременно до тех пор, пока плёнка не истончится до заданной толщины.

Химические процессы при этом подчиняются законам саморегуляции. Это означает, что слой за слоем снимаются равномерно и контролируемо. Если использовать фотошаблоны, на кристалле можно воспроизвести топологию будущего чипа и вытравить рисунок с высочайшей точностью.

В эксперименте учёные использовали для молекулярного травления газ с содержанием солей лития и газ на основе триметилалюминия. В процессе травления соединение лития реагировало с поверхностью пленки алукона (alucone) таким образом, что литий осаждался на поверхности и разрушал химическую связь в пленке. Потом подавался триметилалюминий, который удалял слой плёнки с литием, и так поочерёдно до тех пор, пока плёнка не уменьшалась до нужной толщины. Хорошая управляемость процессом, уверены учёные, может позволить предложенной технологии подтолкнуть развитие полупроводникового производства.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме
Прежде чем оставить комментарий, пожалуйста, ознакомьтесь с правилами комментирования. Оставляя комментарий, вы подтверждаете ваше согласие с данными правилами и осознаете возможную ответственность за их нарушение.
Все комментарии премодерируются.
Комментарии загружаются...
window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Samsung анонсировала облачный игровой сервис — он будет доступен на её умных телевизорах с ОС Tizen 4 ч.
Apple выпустила iOS 14.8.1 для тех, кто не хочет обновляться до iOS 15 6 ч.
Перенос был не зря: сравнение трейлеров Halo Infinite демонстрирует значительное улучшение графики игры 6 ч.
Blizzard не станет проводить BlizzConline 2022, но без анонсов игроков не оставит 7 ч.
Гибель человечества неминуема: Xbox выпустила трейлер Halo Infinite с монологом главного злодея 7 ч.
Одной из премьер завтрашнего выпуска State of Play станет инди-долгострой Little Devil Inside 7 ч.
Роскомнадзор причислил Telegram и LiveJournal к социальным сетям 8 ч.
Премьеру Marvel’s Guardians of the Galaxy на ПК и консолях отметили объяснительным роликом 8 ч.
Telegram представил собственную рекламную платформу — минимальный бюджет равен 2 млн евро 9 ч.
Видео: основные сюжетные, геймплейные и технические особенности в новом трейлере тактической ролевой игры Triangle Strategy 9 ч.
Новая статья: Обзор видеокарты ASUS ROG Strix LC GeForce RTX 3080 Ti OC: без воды никуды 3 ч.
iPhone SE следующего поколения получит такой же экран, как у iPhone 6 из 2014 года 4 ч.
Марсианский вертолёт Ingenuity успешно взлетел в условиях изменившейся атмосферы Красной планеты 4 ч.
Новая статья: Обзор 34-дюймового UWQHD-монитора Acer Nitro XR343CK P: король игр 5 ч.
Выяснилось, как будет выглядеть продвинутая VR-гарнитура Oculus Quest Pro — её могут представить уже на этой неделе 6 ч.
Intel прекратит производство более 30 контроллеров и карт Ethernet из-за дефицита чипов 6 ч.
Получена первая партия российских серверных Arm-процессоров Baikal-S: 48 ядер, 6 каналов DDR4-3200 и 80 линий PCIe 4.0 6 ч.
Сенат США обвинил Seagate в поставках жёстких дисков китайской Huawei, несмотря на санкции 7 ч.
Материнские платы Gigabyte для Alder Lake отметились в американской рознице по цене от $200 7 ч.
Microsoft разрабатывает доступный ноутбук Surface с урезанной Windows 11, который составит конкуренцию хромбукам 7 ч.