Сегодня 25 сентября 2023
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
Новости Hardware

В США разработана новая технология производства нанометровых полупроводников

Дальнейшее развитие микроэлектроники невозможно представить без совершенствования технологий производства полупроводников. Чтобы расширить границы и научиться выпускать всё более мелкие элементы на кристаллах нужны новые технологии и новые инструменты. Одной из таких технологий может стать прорывная разработка американских учёных.

Группа исследователей из Аргоннской национальной лаборатории Министерства энергетики США разработала новую методику создания и травления тончайших плёнок на поверхности кристаллов. Потенциально это может привести к производству чипов с меньшими масштабами технологических норм, чем сегодня и в ближайшей перспективе. Публикация об исследовании размещена в журнале Chemistry of Materials.

Предложенная методика напоминает традиционный процесс атомно-слоевого осаждения и травления, только вместо неорганических плёнок новая технология создаёт и работает с органическими плёнками. Собственно, по аналогии новая технология названа молекулярно-слоевым осаждением (MLD, molecular layer deposition) и молекулярно-слоевым травлением (MLE, molecular layer etching).

Как и в случае атомно-слоевого травления метод MLE использует газовую обработку в камере поверхности кристалла с плёнками из материала на органической основе. Кристалл циклически обрабатывается двумя разными газами попеременно до тех пор, пока плёнка не истончится до заданной толщины.

Химические процессы при этом подчиняются законам саморегуляции. Это означает, что слой за слоем снимаются равномерно и контролируемо. Если использовать фотошаблоны, на кристалле можно воспроизвести топологию будущего чипа и вытравить рисунок с высочайшей точностью.

В эксперименте учёные использовали для молекулярного травления газ с содержанием солей лития и газ на основе триметилалюминия. В процессе травления соединение лития реагировало с поверхностью пленки алукона (alucone) таким образом, что литий осаждался на поверхности и разрушал химическую связь в пленке. Потом подавался триметилалюминий, который удалял слой плёнки с литием, и так поочерёдно до тех пор, пока плёнка не уменьшалась до нужной толщины. Хорошая управляемость процессом, уверены учёные, может позволить предложенной технологии подтолкнуть развитие полупроводникового производства.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме
window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Гибридная облачная платформа Huawei Cloud Stack упростит создание кастомных ИИ-моделей 7 ч.
Военная стратегия Company of Heroes выйдет на Nintendo Switch со всеми дополнениями уже 12 октября 10 ч.
Видео: 9 минут геймплея сессионного онлайн-шутера Escape from Tarkov: Arena 12 ч.
400 тыс. новых вирусов каждый день: «Лаборатория Касперского» заявила о глобальном росте числа кибератак 20 ч.
Nintendo сделала шаг в будущее без паролей: заработал вход в аккаунт Nintendo через Passkey 23 ч.
Новая статья: Dune: Spice Wars — дождевой червяк вместо Шаи-Хулуда. Рецензия 24-09 00:22
Resident Evil Village для iPhone и iPad выйдет 30 октября 23-09 17:33
Microsoft обогатила мобильную клавиатуру SwiftKey ИИ-функциями — умные подсказки, проверка текста и генерация картинок и стикеров 23-09 16:21
Клиентов российских хостингов будут идентифицировать через «Госуслуги» или по паспорту 23-09 14:40
ИИ-генераторы текстов и изображений оказались экологичнее живых писателей и художников 23-09 12:40
Новая статья: Как DDR5-память влияет на производительность Ryzen 7 7800X3D: отвечаем на главные вопросы 6 ч.
Microsoft ищет топ-менеджера по внедрению малых модульных реакторов для питания ЦОД 8 ч.
Swissbit представила индустриальные microSD-карты iShield Archive с аппаратным AES-шифрованием и контролем доступа 9 ч.
Китай под санкциями удвоил уровень локализации в сфере оборудования для производства чипов 18 ч.
SpaceX повторила рекорд по использованию первой ступени Falcon 9 в 17-й раз 19 ч.
Apple iPhone 15 Plus стал рекордсменом по продолжительности работы аккумулятора 23 ч.
Американская Lucid Motors получила разрешение на выпуск электромобилей в Саудовской Аравии 23 ч.
В Остине роботизированные такси Cruise создали затор на перекрёстке и быстро его усугубили 23 ч.
Смартфоны iPhone 15 поддерживают проводное подключение к интернету — быстрее, чем по Wi-Fi 24-09 05:55
Solidigm представила SSD P5810 на памяти SLC для нагрузок с активной записью данных 23-09 22:13