Новости Hardware

IMEC прокладывает путь к производству 3-нм полупроводников

На повестке дня стоит начало массового производства 5-нм чипов. Следующий шаг ― освоить выпуск 3-нм решений. Несмотря на небольшое различие в технологических нормах, этот маленький шаг потребует значительных исследований. И на первую линию борьбы за 3-нм производство вышли исследователи из Бельгии и Нидерландов.

На этой неделе на годовом мероприятии SPIE Advanced Lithography Conference бельгийский исследовательский центр Imec сделал доклад о прорыве в деле литографического производства чипов с использованием EUV-проекции. С помощью серийного сканера NXE:3400B компании ASML, но с массой уникальных настроек, исследователи смогли за один проход сканера создать линейный рисунок с шагом 24 нм.

Это разрешение необходимо для выпуска полупроводников с нормами 3 нм. Оно критическое для изготовления металлических контактов в так называемом «нижнем» слое чипов или BEOL (back-end-of-line), где расположена многоуровневая система соединений кристалла с монтажной платой. Опыт произведён в новой «чистой комнате» Imec, где специалисты центра вместе с инженерами компании ASML разрабатывают новые материалы для производства чипов с нормами 3 нм и меньшими.

Предметом для пристального излучения остаётся фоторезист ― фоточувствительный материал, который даёт возможность перенести рисунок кристалла с фотошаблона на кремниевую пластину. Фоторезист для техпроцессов с нормами свыше 7 нм не годится для работы со сканерами EUV при проекции с нормами менее 5–3 нм. Он банально разрушается под воздействием высокоэнергетического пучка сверхжёсткого излучения.

В совместном исследовании специалисты Imec и ASML смогли таким образом настроить излучающую установку, чтобы снизить энергию пучка излучения до безопасного для фоторезиста уровня и добиться минимальных искажений при передаче рисунка с фотошаблона на слой фоторезиста на пластине.

Полученные в результате эксперимента данные помогут в дальнейшем при переходе на сканеры с ещё лучшим разрешением ― на установки EXE:5000. Ключевой особенностью сканеров ASML EXE:5000 станет новая оптическая система с увеличенной цифровой апертурой со значения 0,33 до 0,55. Эта установка за один проход обещает рисовать линии с шагом 8 нм, а появится она примерно через два года. К этому времени необходимо разработать фоторезист, который бы мог выдерживать высокую энергию пучка на меньшей площади.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме
Прежде чем оставить комментарий, пожалуйста, ознакомьтесь с правилами комментирования. Оставляя комментарий, вы подтверждаете ваше согласие с данными правилами и осознаете возможную ответственность за их нарушение.
Все комментарии премодерируются.
Комментарии загружаются...
window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Google снизила комиссию для приложений с подписками из Play Маркет до 15 %, а для потоковых музыкальных сервисов — до 10 % 5 ч.
Патч для Windows 11, исправляющий работу кеша в процессорах AMD Ryzen, стал доступен всем пользователям 7 ч.
NetApp анонсировала обновление портфеля решений для гибридных облаков 7 ч.
NVIDIA представила подписку GeForce NOW RTX 3080 с возможностью трансляции игр в разрешении до 4К 7 ч.
Nintendo исправила ошибку в Metroid Dread, которая мешала пройти игру 9 ч.
Focus Entertainment приобрела студию-разработчика Shady Part of Me 9 ч.
В New World появилась возможность перемещаться между серверами, но региональную миграцию реализуют позже 9 ч.
Психологический хоррор Happy Game от авторов Machinarium поступит в продажу 28 октября 10 ч.
Among Us получила дату выхода на консолях PlayStation и Xbox — 14 декабря 10 ч.
Следующая часть хоррор-антологии The Dark Pictures станет финалом первого сезона 10 ч.
Частная космическая станция Starlab появится на орбите Земли к 2027 году — она будет принимать туристов и проводить исследования 5 ч.
Intel предложила протокол HTTPA для повышения безопасности веб-приложений 6 ч.
Акции IBM упали в цене после квартального отчёта 7 ч.
Новая статья: Обзор системного блока Raskat Standart 500 (82648): игровой ПК, который мы заслужили 7 ч.
Razer представила игровые гарнитуры Kraken V3 с улучшенным дизайном и звуком, а также тактильной отдачей в моделях Pro и HyperSense 7 ч.
Razer представила свои первые СЖО, вентиляторы и блоки питания для игровых компьютеров — все с RGB-подсветкой 7 ч.
Материнские платы Gigabyte и MSI на чипсете Intel Z690 для процессоров Alder Lake показались на фото 7 ч.
Грядущий AMD Ryzen Threadripper PRO 5975WX на Zen 3 оказался до 34 % быстрее своего предшественника в Geekbench 8 ч.
Honor скоро представит доступный 5G-смартфон Play 5 Youth Edition 9 ч.
Arm представит в 2022 году новый GPU, который будет вдвое быстрее актуального в задачах ИИ 9 ч.