Хотя в России уже налажено производство некоторых газов с высокой степенью очистки, большинство такого сырья для выпуска чипов приходится закупать за границей. Входящее в состав «Росэлектроники» НПП «Салют» обещает исправить такое положение дел — там разработали новую технологию получения высокочистых газов для производства чипов.
Источник изображения: «Ростех»
Высокочистые газы используются как для поддержки работы производственного оборудования, так и в технологических процессах создания полупроводников. Например, закупаемый Россией арсин и фосфин меняют проводимости материала, а моносилан задействован для обработки подложек чипов и технологических слоёв. Работа специалистов НПП «Салют» была направлена на получение высокочистых газов на отечественных предприятиях, а также на разработку способов хранения и транспортировки без потери чистоты.
«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных — фтор, трехфтористый азот или бор», — сказано в пресс-релизе на сайте «Ростеха». НПП «Салют», как сообщается, разработало технологии промышленного производства таких газов необходимой чистоты, а именно моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого и бора треххлористого.
Предложенная НПП «Салют» технология хранения сверхчистых газов допускает сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления — не менее 12 месяцев. Осталось подтянуть отечественное производство чипов, но это уже другая история.