Микроэлектромеханические системы можно рассматривать как промежуточный этап на пути к футуристическим наномашинам — причём на нынешнем уровне технологий, в отличие от последних, вполне достижимый. Однако возможно ли в принципе и далее эффективно уменьшать масштабы нынешних MEMS — не в ущерб их функциональности?
