В России развернут полигоны для тестирования оборудования для выпуска чипов

Минпромторг, Минобрнауки, производители полупроводников и профильные вузы намерены развернуть в России сеть полигонов для тестирования оборудования для производства микроэлектроники, которое находится в разработке. Как сообщает газета «Коммерсант», появление таких площадок приблизительно на год ускорит начало серийного выпуска установок.

В частности, полигон будет создан на базе Национального исследовательского университета «Московский институт электронной техники» (МИЭТ). В рамках проекта планируется реконструкция и техническое перевооружение одного из корпусов вуза с развёртыванием необходимой инженерной инфраструктуры.

Речь идёт о переоборудовании завода «Протон», где планируется предусмотреть «инфраструктуру для возможности размещения технологического, научного и контрольно-измерительного оборудования». Это могут быть фотолитографические установки, анализаторы цепей, степперы и другие устройства, которые применяются на производствах микроэлектроники и СВЧ-продуктов. Кроме того, такой полигон должен быть оборудован инфраструктурой, необходимой для подачи особо чистых жидкостей, химических соединений и газов. Для каждой установки планируется создание цифрового двойника, что поможет сократить время разработки и аттестации технологических процессов.

Говорится, что аналогичные полигоны появятся в Санкт-Петербурге и во Фрязино (на базе АО «НПП "Исток" имени А. И. Шокина»). Стоимость создания одной площадки оценивается в 4,2–5,6 млрд руб., из которых 30–40 % придётся на инженерную инфраструктуру (около 1,7 млрд руб.). Создание полигонов осуществляется в рамках федерального проекта «Подготовка кадров и научного фундамента в электронной промышленности».