Сегодня 10 мая 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Теги → 5-нм

Развитие под санкциями: китайская SMIC разрабатывает технологии выпуска 3-нм чипов без EUV

Несмотря на отсутствие доступа к оборудованию для выпуска чипов с литографией в экстремальном ультрафиолете (EUV) из-за санкций, китайская компания SMIC продолжает разработку 5-нм и 3-нм техпроцессов производства чипов. Ранее SMIC удалось наладить серийное производство 7-нм микросхем, опираясь исключительно на литографию в глубоком ультрафиолете (DUV), что само по себе не является невозможным — техпроцесс TSMC N7P также не использует EUV.

 Источник изображения: SMIC

Источник изображения: SMIC

В отчёте Nikkei утверждается, что сразу после запуска 7-нм техпроцесса 2-го поколения, SMIC создала исследовательскую группу для работы над 5-нм и 3-нм техпроцессами. Команду возглавляет ранее работавший в TSMC и Samsung содиректор SMIC Лян Монг-Сонг (Liang Mong-Song). «Нет более умного учёного или инженера, чем этот парень, — так охарактеризовал его Дик Терстон (Dick Thurston), бывший главный юрисконсульт TSMC. — Он действительно один из самых блестящих умов, которых я видел в области полупроводников».

SMIC прошла долгий путь от небольшой полупроводниковой фабрики до пятого по величине контрактного производителя микросхем в мире. На фоне растущей напряжённости между США и Китаем компания была включена в санкционный список Министерства торговли США и потеряла доступ к передовым инструментам для обработки кремниевых пластин, что серьёзно замедлило её развитие и внедрение новых технологических процессов.

На данный момент литографические машины ASML Twinscan NXT:2000i являются лучшими инструментами, которыми располагает SMIC — они могут производить травление с разрешением до 38 нм. Этот уровень точности обеспечивает экспонирование с шагом 38 нм с использованием двойной фотомаски, чего достаточно для производства чипов класса 7 нм. Согласно исследованиям ASML и IMEC, при 5 нм шаг металла уменьшается до 30-32 нм, а при 3 нм — до 21-24 нм, что уже требует применения EUV.

 Источник изображения: ASML

Источник изображения: ASML

Но использование инструментов литографии со сверхвысоким разрешением (13 нм для EUV с низкой числовой апертурой) — не единственный путь к достижению сверхмалых размеров транзисторов. Другой вариант предусматривает нанесение нескольких последовательных масок, но это сложный процесс, который увеличивает продолжительность производственного цикла, снижает процент выхода годных изделий, увеличивает износ оборудования и повышает затраты. Однако без доступа к EUV-литографии у SMIC просто нет другого выбора, кроме как использовать тройное, четверное или даже пятикратное паттернирование.

Терстон считает, что под руководством Лян Монг-Сонга SMIC сможет производить (если уже не производит) 5-нм чипы в больших количествах без использования инструментов EUV. Однако сегодняшний отчёт Nikkei впервые сообщает о возможной способности SMIC разработать в обозримом будущем 3-нм производственный процесс на оборудовании класса DUV.


window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Huawei представила комплексную платформу хранения и обработки ИИ-данных 2 ч.
Новая статья: despelote — го-о-о-о-о-о-о-о-о-о-ол! Рецензия 12 ч.
Разработчики ремейка «Готики» прокачали демоверсию на основе отзывов игроков — «Пролог Нираса» получил крупное обновление 15 ч.
Доход Apple App Store в минувшем году оценили более чем в $10 миллиардов — и это только в США 18 ч.
Killing Floor 3 выйдет на четыре месяца позже обещанного — объявлена новая дата релиза 18 ч.
Сэм Альтман переобулся и теперь утверждает, что госрегулирование ИИ поставит крест на лидерстве США 21 ч.
«Мы явно перестарались»: разработчикам Clair Obscur: Expedition 33 пришлось ослабить умение, которое позволяло наносить миллиарды единиц урона 23 ч.
Доставка прибудет по расписанию: курьерский экшен Death Stranding 2: On the Beach ушёл на золото за полтора месяца до релиза 23 ч.
В Telegram добавились маркетплейс подарков, публикация нескольких историй сразу и автоматический перевод в каналах 24 ч.
«Лучшая карточная игра с RPG-элементами»: с 2022 года пользователи The Witcher 3: Wild Hunt наиграли в «Гвинт» более 458 миллионов партий 09-05 11:01
Nokia представила решение Aurelis Optical LAN для оптических локальных сетей 31 мин.
NVIDIA ослабит и без того урезанные ускорители H20, чтобы вернуть возможность поставок в Китай 2 ч.
Microsoft: переход ЦОД к СЖО снижает выбросы на 21 % 2 ч.
Второй по величине китайский производитель чипов заявил, что не боится влияния импортных пошлин США 3 ч.
SK hynix получила разрешение местных властей на строительство предприятия по упаковке HBM в штате Индиана 3 ч.
Gigabyte представила платы X870 и B850 Aorus Stealth с разъёмами питания на обратной стороне 15 ч.
Razer представила подголовник для игрового кресла, который заменяет наушники 17 ч.
Noctua переделала крепление кулеров под Arrow Lake — новая версия добавляет сдвиг и снижает температуру 17 ч.
Выяснилась цена Radeon RX 9600 XT в исполнении XFX, и она выглядит странно 17 ч.
Gigabyte представила мини-ПК BRIX GB-BRU5 с процессорами Core Ultra 200H в корпусе объёмом 0,46 литра 17 ч.