Сегодня 22 ноября 2024
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Applied Materials придумала травление под углом: тонкие техпроцессы с EUV-литографией станут проще

Компания Applied Materials представила установку Centura Sculpta для уникальной обработки кремниевых пластин. За счёт направления реагентов травления под углом открылась возможность более плотного изготовления элементов на пластинах без двойной экспозиции. Это поможет заметно удешевить процесс изготовления транзисторов с использованием EUV-литографии за счёт экономии времени, материалов и благодаря снижению уровня брака.

 Источник изображения: Applied Materials

Источник изображения: Applied Materials

Сегодня для создания самых мелких элементов на пластинах по очереди используется две экспозиции EUV-сканером с последовательной сменой двух фотошаблонов. Одной сфокусированной точки луча с длиной волны 13,2 нм очевидно недостаточно для создания рисунка в техпроцессе с нормами менее 12 нм. Помимо того, что шаблоны надо заменить и очень тщательно выровнять, каждый раз пластину необходимо очистить от продуктов предыдущей экспозиции и травления со всеми сопутствующими шагами по обработке. Всего этого можно было бы избежать, если бы проекция была только одна с использованием одного шаблона на слой.

Компания Applied Materials нашла решение, которое позволяет вместо двух фотошаблонов использовать один и при этом не потерять в плотности размещения элементов и в их точности, включая ровность краёв.

Установка Centura Sculpta Applied Materials производит травление под углом. Сначала пластина обрабатывается проходом системы травления с одного направления, а затем это повторяется с поворотом пластины на 180 градусов. Первоначально протравленные «точки», размещённые с большим зазором, превращаются в «эллипсы» с сокращением зазоров до минимально допустимого расстояния. В процессе используется только один шаблон, тогда как сегодня для создания структуры с таким же разрешением необходимо два фотошаблона и два этапа по обработке пластин после каждой проекции.

По подсчётам Applied Materials, установка Centura Sculpta каждый месяц экономит около $250 млн капитальных затрат на обработку 100 тыс. пластин. Производственные затраты экономятся примерно на $50 за пластину. Также это экономит электричество в объёме примерно 15 кВт·ч на пластину. Воды экономится около 15 литров на пластину. Наконец, происходит прямое сокращение выбросов парниковых газов более чем на 0,35 кг CO2-эквивалента на пластину. В масштабах индустрии речь идёт о колоссальной экономии, которая нужна всем: и производителям, и потребителям.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Итоги Golden Joystick Awards 2024 — Final Fantasy VII Rebirth и Helldivers 2 забрали больше всех наград, а Black Myth: Wukong стала игрой года 48 мин.
В программу сохранения классических игр от GOG вошли S.T.A.L.K.E.R. Shadow of Chernobyl и Call of Pripyat, а Clear Sky — на подходе 2 ч.
Star Wars Outlaws вышла в Steam с крупным обновлением и дополнением про Лэндо Калриссиана 3 ч.
Рекордная скидка и PvP-режим Versus обернулись для Warhammer: Vermintide 2 полумиллионом новых игроков за неделю 5 ч.
Роскомнадзор с декабря начнёт блокировать сайты за публикацию научной информации о VPN 5 ч.
Новый трейлер раскрыл дату выхода Mandragora — метроидвании с элементами Dark Souls и нелинейной историей от соавтора Vampire: The Masquerade — Bloodlines 6 ч.
В Японии порекомендовали добавить в завещания свои логины и пароли 8 ч.
Обновления Windows 11 больше не будут перезагружать ПК, но обычных пользователей это не касается 8 ч.
VK похвасталась успехами «VK Видео» на фоне замедления YouTube 10 ч.
GTA наоборот: полицейская песочница The Precinct с «дозой нуара 80-х» не выйдет в 2024 году 11 ч.
Представлен внешний SSD SanDisk Extreme на 8 Тбайт за $800 и скоростной SanDisk Extreme PRO с USB4 27 мин.
Представлен безбуферный SSD WD_Black SN7100 со скорость до 7250 Мбайт/с и внешний SSD WD_Black C50 для Xbox 32 мин.
Новая статья: Обзор ноутбука ASUS Zenbook S 16 (UM5606W): Ryzen AI в естественной среде 47 мин.
Redmi показала флагманский смартфон K80 Pro и объявила дату его премьеры 3 ч.
SpaceX рассказала, почему затопила ракету Super Heavy во время последнего запуска Starship 4 ч.
Астрономы впервые сфотографировали умирающую звезду за пределами нашей галактики — она выглядит не так, как ожидалось 6 ч.
Японская Hokkaido Electric Power намерена перезапустить ядерный реактор для удовлетворения потребности ЦОД в энергии 7 ч.
Meta планирует построить за $5 млрд кампус ЦОД в Луизиане 8 ч.
Arm задаёт новый стандарт для ПК, чтобы навязать конкуренцию x86 8 ч.
HPE готова ответить на любые вопросы Минюста США по расследованию покупки Juniper за $14 млрд 8 ч.