Сегодня 02 ноября 2024
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Applied Materials придумала травление под углом: тонкие техпроцессы с EUV-литографией станут проще

Компания Applied Materials представила установку Centura Sculpta для уникальной обработки кремниевых пластин. За счёт направления реагентов травления под углом открылась возможность более плотного изготовления элементов на пластинах без двойной экспозиции. Это поможет заметно удешевить процесс изготовления транзисторов с использованием EUV-литографии за счёт экономии времени, материалов и благодаря снижению уровня брака.

 Источник изображения: Applied Materials

Источник изображения: Applied Materials

Сегодня для создания самых мелких элементов на пластинах по очереди используется две экспозиции EUV-сканером с последовательной сменой двух фотошаблонов. Одной сфокусированной точки луча с длиной волны 13,2 нм очевидно недостаточно для создания рисунка в техпроцессе с нормами менее 12 нм. Помимо того, что шаблоны надо заменить и очень тщательно выровнять, каждый раз пластину необходимо очистить от продуктов предыдущей экспозиции и травления со всеми сопутствующими шагами по обработке. Всего этого можно было бы избежать, если бы проекция была только одна с использованием одного шаблона на слой.

Компания Applied Materials нашла решение, которое позволяет вместо двух фотошаблонов использовать один и при этом не потерять в плотности размещения элементов и в их точности, включая ровность краёв.

Установка Centura Sculpta Applied Materials производит травление под углом. Сначала пластина обрабатывается проходом системы травления с одного направления, а затем это повторяется с поворотом пластины на 180 градусов. Первоначально протравленные «точки», размещённые с большим зазором, превращаются в «эллипсы» с сокращением зазоров до минимально допустимого расстояния. В процессе используется только один шаблон, тогда как сегодня для создания структуры с таким же разрешением необходимо два фотошаблона и два этапа по обработке пластин после каждой проекции.

По подсчётам Applied Materials, установка Centura Sculpta каждый месяц экономит около $250 млн капитальных затрат на обработку 100 тыс. пластин. Производственные затраты экономятся примерно на $50 за пластину. Также это экономит электричество в объёме примерно 15 кВт·ч на пластину. Воды экономится около 15 литров на пластину. Наконец, происходит прямое сокращение выбросов парниковых газов более чем на 0,35 кг CO2-эквивалента на пластину. В масштабах индустрии речь идёт о колоссальной экономии, которая нужна всем: и производителям, и потребителям.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Google представила Learn About — инструмент интерактивного обучения на базе искусственного интеллекта 5 ч.
Аудитория Threads превысила 275 млн пользователей за год с момента её запуска 8 ч.
У VK Cloud появился ИИ-консультант по облачным сервисам 11 ч.
На «Госуслугах» появилась форма для регистрации блогеров с аудиторией более 10 тыс. подписчиков 12 ч.
Правительство запретило незарегистрированным майнерам расходовать более 6000 кВт·ч электроэнергии в месяц 12 ч.
Apple объявила о покупке популярного редактора изображений Pixelmator литовской разработки 18 ч.
Новая статья: Neva — белый Бим Черные рога. Рецензия 23 ч.
Авторы «Мора» объяснили, зачем превратили кампанию Бакалавра в Pathologic 3, и вспомнили про Самозванку 23 ч.
Google начал внедрять генеративный ИИ в «Карты» и другие геосервисы 24 ч.
Создатель DayZ анонсировал «убийцу Kerbal Space Program» — Kitten Space Agency 01-11 21:54
APNIC: переход на IPv6, как оказалось, не так уж нужен 20 мин.
Облако AWS стало основным драйвером роста выручки Amazon — компания готова и дальше вкладываться в ИИ-инфраструктуру 38 мин.
Система Веги оказалась планетарной пустыней 2 ч.
Облачный бизнес Google растёт быстрее, чем у всех конкурентов 2 ч.
В гонке за передовым ИИ техногиганты потратят в 2024 году более $200 млрд 7 ч.
Intel до сих пор не начала зарабатывать на контрактном производстве чипов — заказов очень мало 7 ч.
Созданы сверхтонкие солнечные панели для дирижаблей — их масса меньше 700 г на квадратный метр 8 ч.
OnePlus 13 возглавил рейтинг самых мощных Android-смартфонов по итогам октября 8 ч.
В США задумались о санкциях против китайских производителей дисплеев — они вытесняют всех конкурентов 8 ч.
Спутники мобильной связи AST SpaceMobile стали ярчайшими объектами на ночном небе — астрономы в шоке 8 ч.