Huawei придумала, как производить 5-нм чипы без оборудования ASML

Компания Huawei и один из её китайских партнёров по производству полупроводников подали патентные заявки на низкотехнологичный, но достаточно эффективный способ выпуска современной полупроводниковой продукции, пишет Bloomberg. Это решение поможет Китаю усовершенствовать методы производства чипов вопреки попыткам США остановить его прогресс.

Согласно заявкам, поданным в китайское патентное бюро, компании разрабатывают технологии, включающие метод SAQP (Self-Aligned Quadruple Patterning) — обработку заготовок в четыре прохода. Этот способ позволит выпускать чипы по более тонким техпроцессам (сократить количество нанометров), что характеризует технологический процесс, с использованием менее современного оборудования. Внедрение такого решения поможет китайским производителям выпускать современные чипы, не будучи зависимыми от нидерландской компании ASML — это единственный в мире поставщик современных литографических сканеров со сверхжёстким ультрафиолетовым излучением (EUV). Но из-за американских санкций ASML не может поставлять такое оборудование в Китай.

Китайская компания с госучастием SiCarrier, которая занимается разработкой оборудования для производства микросхем и сотрудничает с Huawei, в конце 2023 года зарегистрировала патент, включающий SAQP. Он предполагает применение литографических сканеров с глубоким ультрафиолетом (DUV) для производства чипов по нормам 5 нм. Один из руководителей исследовательской компании TechInsights Дэн Хатчесон (Dan Hutcheson) подтвердил, что технология обработки в четыре прохода действительно поможет Китаю в выпуске микросхем по нормам 5 нм, но в долгосрочной перспективе обойтись без EUV-машин страна всё равно не сможет.

Ведущие мировые полупроводниковые подрядчики, включая TSMC, для производства современной продукции пользуются EUV-машинами, поскольку это оборудование обеспечивает наиболее высокий выход годной продукции, а значит, стоимость одного чипа оказывается меньшей. Применение Huawei и её партнёрами альтернативных решений сделает цену на их продукцию выше отраслевых стандартов. Самые передовые чипы, которые сегодня находятся в коммерческом производстве, выпускаются по нормам 3 нм — например, процессоры Apple, производством которых занимается TSMC. Китай подтвердил способность выпускать продукцию по технологии 7 нм, что означает отставание от мировых лидеров на два поколения. Переход на 5 нм сократит этот разрыв до одного поколения.

Китайские производители оборудования для выпуска микросхем, включая Naura Technology Group Co. и Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc., также рассматривают возможность внедрение технологий многократного травления для получения 7-нм и более совершенных чипов в отсутствие доступа к EUV, сообщили недавно аналитики Citigroup.