Сегодня 26 сентября 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Китайские учёные создали передовой твердотельный лазер для полупроводниковой DUV-литографии

Китайские учёные построили компактную твердотельную лазерную систему, которая генерирует когерентный свет с длиной волны 193 нм. Это изобретение обещает прорыв в полупроводниковой литографии и других технологических областях.

 Источник изображения: spie.org

Источник изображения: spie.org

Лазеры, работающие в глубоком ультрафиолете (DUV) с высокой энергией фотонов и короткими длинами волн, применяются в полупроводниковой литографии, спектроскопии высокого разрешения, прецизионной (высокоточной) обработке материалов и в квантовых технологиях. Их отличают высокая когерентность и низкое потребление энергии в сравнении с эксимерными или газоразрядными лазерами, то есть возможность создавать компактные установки.

Китайским учёным удалось добиться значительного прогресса и построить компактную твердотельную лазерную систему, способную генерировать когерентный луч с длиной волны 193 нм, сообщается в рецензируемом научном журнале Advanced Photonics Nexus. Эта длина волны имеет решающее значение в полупроводниковой литографии — процессе травления сложных узоров на кремниевых пластинах, составляющих основу современной электроники.

Лазерная система работает с импульсной частотой повторения 6 кГц, в ней используется усилитель на кристалле Yb:YAG (иттербий-допированный иттрий-алюминиевый гранат) и производится лазер с длиной волны 1030 нм. Луч разделяется на две части: одна проходит через нелинейный кристалл, где подвергается генерации четвёртой гармоники для производства луча 258 нм с выходной мощностью 1,2 Вт; вторая воздействует на оптический параметрический усилитель, генерируя лазер 1553 нм мощностью 700 мВт. Далее они объединяются в каскадных кристаллах LBO (триборат лития — LiB₃O₅), и производится лазер на 193 нм, достигающий средней мощности 70 мВт с шириной линии менее 880 МГц. Перед смешиванием частот исследователи ввели в луч 1553 нм спиральную фазовую пластину, благодаря которой стал генерироваться вихревой луч с орбитальным угловым моментом — спиральный лазерный луч.

Таким образом, учёным удалось впервые произвести на твердотельной установке вихревой лазерный луч с длиной волны 193 нм. Он сможет применяться для затравки гибридных эксимерных лазеров на фториде аргона (ArF), использоваться в литографии кремниевых пластин, выявлении дефектов, в квантовой связи и оптическом микроманипулировании. Система предлагает более высокую эффективность и точность для полупроводниковой литографии и открывает новые возможности для производственных технологий. Генерация вихревого луча с длиной волны 193 нм обещает дальнейшие прорывы в этой области вплоть до революции в производстве электроники.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Энтузиаст создал эмулятор первой PlayStation для Telegram — работает на «любых современных» смартфонах 3 мин.
Meta захотела улучшить свои приложения с помощью ИИ-технологий конкурирующей Google 13 мин.
В Twitch наконец-то появилась перемотка трансляций, но доступная она не всем 2 ч.
Google грозит огромный штраф по новому антимонопольному закону ЕС, но шансы отвертеться есть 2 ч.
Gemini теперь сможет объяснить, почему формула в «Google Таблицах» не работает или работает неправильно 2 ч.
Боузер прощается с Грибным королевством: президент Nintendo of America уйдёт в отставку, чтобы освободить место «руководству нового поколения» 3 ч.
OpenAI анонсировала ChatGPT Pulse — ИИ-агента, который следит за пользователем постоянно 4 ч.
Трамп одобрил сделку по американскому TikTok — сервис оценили всего в $14 млрд, но это не точно 14 ч.
Starbreeze извинилась за вероломное повышение цены сборника Infamous Collection с DLC для Payday 2 и отменила подорожание 16 ч.
Кроссплатформенная поддержка модов для The Witcher 3: Wild Hunt не выйдет в 2025 году — CD Projekt Red отложила горячо ожидаемое обновление 18 ч.
Dreame показала второй электромобиль — он очень похож на Rolls-Royce Cullinan и сможет оснащаться ДВС 8 мин.
Alibaba Cloud запустит восемь новых ЦОД в Европе, Азии и Северной Америке 45 мин.
Google добавила в Pixel Buds Pro 2 управление кивками головы и адаптивный звук 53 мин.
Роботы Unitree заменят людей на сборке смартфонов через несколько лет 54 мин.
Китайская YMTC запустила массовый выпуск 267-слойной 3D NAND — отставание от Samsung и SK hynix сокращается 2 ч.
OpenAI заказала у CoreWeave ИИ-мощности ещё на $6,5 млрд — общая сумма контрактов выросла до $22,4 млрд 2 ч.
Стартап FuriosaAI представил ИИ-сервер NXT RNGD с производительностью 4 Пфлопс 3 ч.
Пинки, увечья и коллективный разум: представлен радикальный, но действенный метод обучения ИИ для роботов 3 ч.
Портативный Xbox оказался дороже, чем домашние Series X и Series S вместе — есть вариант подешевле 4 ч.
Media Stream AI построит в Манчестере 2-МВт ИИ ЦОД с охлаждением водой из местного канала 4 ч.