Сегодня 16 августа 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Китайские учёные создали передовой твердотельный лазер для полупроводниковой DUV-литографии

Китайские учёные построили компактную твердотельную лазерную систему, которая генерирует когерентный свет с длиной волны 193 нм. Это изобретение обещает прорыв в полупроводниковой литографии и других технологических областях.

 Источник изображения: spie.org

Источник изображения: spie.org

Лазеры, работающие в глубоком ультрафиолете (DUV) с высокой энергией фотонов и короткими длинами волн, применяются в полупроводниковой литографии, спектроскопии высокого разрешения, прецизионной (высокоточной) обработке материалов и в квантовых технологиях. Их отличают высокая когерентность и низкое потребление энергии в сравнении с эксимерными или газоразрядными лазерами, то есть возможность создавать компактные установки.

Китайским учёным удалось добиться значительного прогресса и построить компактную твердотельную лазерную систему, способную генерировать когерентный луч с длиной волны 193 нм, сообщается в рецензируемом научном журнале Advanced Photonics Nexus. Эта длина волны имеет решающее значение в полупроводниковой литографии — процессе травления сложных узоров на кремниевых пластинах, составляющих основу современной электроники.

Лазерная система работает с импульсной частотой повторения 6 кГц, в ней используется усилитель на кристалле Yb:YAG (иттербий-допированный иттрий-алюминиевый гранат) и производится лазер с длиной волны 1030 нм. Луч разделяется на две части: одна проходит через нелинейный кристалл, где подвергается генерации четвёртой гармоники для производства луча 258 нм с выходной мощностью 1,2 Вт; вторая воздействует на оптический параметрический усилитель, генерируя лазер 1553 нм мощностью 700 мВт. Далее они объединяются в каскадных кристаллах LBO (триборат лития — LiB₃O₅), и производится лазер на 193 нм, достигающий средней мощности 70 мВт с шириной линии менее 880 МГц. Перед смешиванием частот исследователи ввели в луч 1553 нм спиральную фазовую пластину, благодаря которой стал генерироваться вихревой луч с орбитальным угловым моментом — спиральный лазерный луч.

Таким образом, учёным удалось впервые произвести на твердотельной установке вихревой лазерный луч с длиной волны 193 нм. Он сможет применяться для затравки гибридных эксимерных лазеров на фториде аргона (ArF), использоваться в литографии кремниевых пластин, выявлении дефектов, в квантовой связи и оптическом микроманипулировании. Система предлагает более высокую эффективность и точность для полупроводниковой литографии и открывает новые возможности для производственных технологий. Генерация вихревого луча с длиной волны 193 нм обещает дальнейшие прорывы в этой области вплоть до революции в производстве электроники.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
В рамках вторичного размещения персонал OpenAI продаст акций на сумму $6 млрд 8 мин.
Волна интереса к ИИ порождает новых миллиардеров с рекордной скоростью 3 ч.
Почти 30 тыс. серверов Microsoft Exchange Server оказались уязвимыми из-за нерасторопности администраторов 7 ч.
Новая статья: Titan Quest II — квесты есть, титаны будут позже. Предварительный обзор 8 ч.
Журналисты показали первые 13 минут из Reanimal — жуткого кооперативного приключения от создателей Little Nightmares 8 ч.
Gmail для Android получил кнопку «Отметить как прочитанное» и новую выразительную анимацию свайпов 8 ч.
«Не прошло и 26 лет»: GamesVoice выпустила трейлер русской озвучки System Shock 2, которая выйдет этой осенью 9 ч.
В ChatGPT может появиться реклама, но руководство OpenAI постарается этого не допустить 10 ч.
Беспощадно реалистичный шутер Better Than Dead в духе гонконгских боевиков 80-х и 90-х нашёл издателя — жестокий геймплейный трейлер 10 ч.
«Кто-то потеряет феноменальную сумму денег»: Сэм Альтман признал, что ИИ является пузырём 13 ч.
Американское правительство может использовать для покупки пакета акций Intel средства, выделенные по «Закону о чипах» 38 мин.
Дональд Трамп владеет акциями американских техногигантов на миллионы долларов США 2 ч.
Президент Трамп дал понять, что самые непокорные производители чипов столкнутся с 300-% пошлинами 3 ч.
OpenAI заработала $2 млрд на мобильном приложении ChatGPT — в 30 раз больше всех конкурентом вместе 7 ч.
Intel увеличит инвестиции в продавцов своих чипов и отдаст маркетинг на аутсорс 12 ч.
Роботы начнут вынашивать человеческих детей — китайцы разработали андроида с искусственной маткой 13 ч.
Саудовская center3 потратит $10 млрд на ЦОД общей мощностью 1 ГВт 14 ч.
Lenovo стала мировым лидером в ИИ ПК — каждый третий проданный ею компьютер оснащён ИИ-ускорителем 14 ч.
Реинкарнация: китайцы переделали BlackBerry Classic в современный Android-смартфон за $400 14 ч.
ИИ-стартап Rivos, успевший посудиться с Apple, ищет $500 млн, чтобы побороться с NVIDIA 14 ч.