Сегодня 23 июня 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Китайские учёные создали передовой твердотельный лазер для полупроводниковой DUV-литографии

Китайские учёные построили компактную твердотельную лазерную систему, которая генерирует когерентный свет с длиной волны 193 нм. Это изобретение обещает прорыв в полупроводниковой литографии и других технологических областях.

 Источник изображения: spie.org

Источник изображения: spie.org

Лазеры, работающие в глубоком ультрафиолете (DUV) с высокой энергией фотонов и короткими длинами волн, применяются в полупроводниковой литографии, спектроскопии высокого разрешения, прецизионной (высокоточной) обработке материалов и в квантовых технологиях. Их отличают высокая когерентность и низкое потребление энергии в сравнении с эксимерными или газоразрядными лазерами, то есть возможность создавать компактные установки.

Китайским учёным удалось добиться значительного прогресса и построить компактную твердотельную лазерную систему, способную генерировать когерентный луч с длиной волны 193 нм, сообщается в рецензируемом научном журнале Advanced Photonics Nexus. Эта длина волны имеет решающее значение в полупроводниковой литографии — процессе травления сложных узоров на кремниевых пластинах, составляющих основу современной электроники.

Лазерная система работает с импульсной частотой повторения 6 кГц, в ней используется усилитель на кристалле Yb:YAG (иттербий-допированный иттрий-алюминиевый гранат) и производится лазер с длиной волны 1030 нм. Луч разделяется на две части: одна проходит через нелинейный кристалл, где подвергается генерации четвёртой гармоники для производства луча 258 нм с выходной мощностью 1,2 Вт; вторая воздействует на оптический параметрический усилитель, генерируя лазер 1553 нм мощностью 700 мВт. Далее они объединяются в каскадных кристаллах LBO (триборат лития — LiB₃O₅), и производится лазер на 193 нм, достигающий средней мощности 70 мВт с шириной линии менее 880 МГц. Перед смешиванием частот исследователи ввели в луч 1553 нм спиральную фазовую пластину, благодаря которой стал генерироваться вихревой луч с орбитальным угловым моментом — спиральный лазерный луч.

Таким образом, учёным удалось впервые произвести на твердотельной установке вихревой лазерный луч с длиной волны 193 нм. Он сможет применяться для затравки гибридных эксимерных лазеров на фториде аргона (ArF), использоваться в литографии кремниевых пластин, выявлении дефектов, в квантовой связи и оптическом микроманипулировании. Система предлагает более высокую эффективность и точность для полупроводниковой литографии и открывает новые возможности для производственных технологий. Генерация вихревого луча с длиной волны 193 нм обещает дальнейшие прорывы в этой области вплоть до революции в производстве электроники.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
CD Projekt Red отложила следующее крупное обновление для Cyberpunk 2077 — патч 2.3 не выйдет 26 июня 56 мин.
Broadcom представила VMware Cloud Foundation 9 — основу основ для современного частного облака 4 ч.
На вершине успеха: кооперативная игра Peak от авторов Content Warning и Another Crab's Treasure покорила Steam и стала хитом продаж 7 ч.
«История выглядит намного мрачнее, чем я думал»: сюжетный трейлер Borderlands 4 удивил игроков 8 ч.
Team Vitality стала чемпионом Blast.tv Austin Major 2025 — это уже седьмая подряд победа команды на крупных турнирах по Counter-Strike 2 в 2025 году 8 ч.
Huawei выпустила «безандроидную» бета-версию HarmonyOS 6 — пока только для разработчиков 9 ч.
Как избежать оборотных штрафов по 152-ФЗ и не сломать маркетинг: объясняют эксперты рынка, регуляторы и юристы 9 ч.
Утечка: в открытый доступ попал первый час прохождения Death Stranding 2: On the Beach 10 ч.
Китай ужесточит контроль над интернетом с помощью новой цифровой идентификации 22-06 06:22
Новая статья: Deltarune — сила в добре. Рецензия 22-06 00:02
Представлен Vivo X200 FE — компактный флагман с батареей на 6500 мА·ч и дизайном iPhone 20 мин.
Самый зоркий телескоп на Земле начал изучать вселенную — опубликованы первые впечатляющие снимки 29 мин.
SK hynix выпустит кастомную HBM4E-память для NVIDIA, Microsoft и Broadcom 2 ч.
3data модернизировала московский ЦОД «М8», добавив мощности для колокейшн-клиентов 3 ч.
Отечественный телеком стал донором средств для законодательных инициатив, пожаловались операторы связи 5 ч.
Экс-глава Intel вложился в стартап, создающий сверхпроводниковые чипы для суперкомпьютеров 5 ч.
xAI воспользуется облаком Oracle для обучения и инференса Grok 5 ч.
Бум ИИ-технологий заставляет Wistron оперативно масштабировать производство серверов 6 ч.
Власти США заподозрили DeepSeek в сотрудничестве с китайским правительством и обходе американских санкций 6 ч.
Подземный суперкомпьютер Olivia стал самым мощным в Норвегии 7 ч.