Сегодня 09 июля 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Теги → 5-нм техпроцесс

Развитие под санкциями: китайская SMIC разрабатывает технологии выпуска 3-нм чипов без EUV

Несмотря на отсутствие доступа к оборудованию для выпуска чипов с литографией в экстремальном ультрафиолете (EUV) из-за санкций, китайская компания SMIC продолжает разработку 5-нм и 3-нм техпроцессов производства чипов. Ранее SMIC удалось наладить серийное производство 7-нм микросхем, опираясь исключительно на литографию в глубоком ультрафиолете (DUV), что само по себе не является невозможным — техпроцесс TSMC N7P также не использует EUV.

 Источник изображения: SMIC

Источник изображения: SMIC

В отчёте Nikkei утверждается, что сразу после запуска 7-нм техпроцесса 2-го поколения, SMIC создала исследовательскую группу для работы над 5-нм и 3-нм техпроцессами. Команду возглавляет ранее работавший в TSMC и Samsung содиректор SMIC Лян Монг-Сонг (Liang Mong-Song). «Нет более умного учёного или инженера, чем этот парень, — так охарактеризовал его Дик Терстон (Dick Thurston), бывший главный юрисконсульт TSMC. — Он действительно один из самых блестящих умов, которых я видел в области полупроводников».

SMIC прошла долгий путь от небольшой полупроводниковой фабрики до пятого по величине контрактного производителя микросхем в мире. На фоне растущей напряжённости между США и Китаем компания была включена в санкционный список Министерства торговли США и потеряла доступ к передовым инструментам для обработки кремниевых пластин, что серьёзно замедлило её развитие и внедрение новых технологических процессов.

На данный момент литографические машины ASML Twinscan NXT:2000i являются лучшими инструментами, которыми располагает SMIC — они могут производить травление с разрешением до 38 нм. Этот уровень точности обеспечивает экспонирование с шагом 38 нм с использованием двойной фотомаски, чего достаточно для производства чипов класса 7 нм. Согласно исследованиям ASML и IMEC, при 5 нм шаг металла уменьшается до 30-32 нм, а при 3 нм — до 21-24 нм, что уже требует применения EUV.

 Источник изображения: ASML

Источник изображения: ASML

Но использование инструментов литографии со сверхвысоким разрешением (13 нм для EUV с низкой числовой апертурой) — не единственный путь к достижению сверхмалых размеров транзисторов. Другой вариант предусматривает нанесение нескольких последовательных масок, но это сложный процесс, который увеличивает продолжительность производственного цикла, снижает процент выхода годных изделий, увеличивает износ оборудования и повышает затраты. Однако без доступа к EUV-литографии у SMIC просто нет другого выбора, кроме как использовать тройное, четверное или даже пятикратное паттернирование.

Терстон считает, что под руководством Лян Монг-Сонга SMIC сможет производить (если уже не производит) 5-нм чипы в больших количествах без использования инструментов EUV. Однако сегодняшний отчёт Nikkei впервые сообщает о возможной способности SMIC разработать в обозримом будущем 3-нм производственный процесс на оборудовании класса DUV.


window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
OpenAI удалось заполучить четырёх классных специалистов из Tesla, xAI и Meta 2 ч.
В США появится не только свой TikTok, но и CapCut 9 ч.
Microsoft наконец добавила в Teams цепочки обсуждений — треды 9 ч.
Microsoft устранила 137 уязвимостей, включая 14 критических и одну нулевого дня 9 ч.
Apple Lisa воссоздали в браузере до мельчайших деталей — дорогой компьютер 1983 года стал доступен всем 9 ч.
В Gmail добавят удобный способ отписаться от ненужных рассылок 9 ч.
«Проведите время с пользой, ведь мы все умрём»: экзистенциальная игра о скоротечности жизни Time Flies получила дату выхода и новый трейлер 10 ч.
С новым патчем в The Last of Us Part II Remastered появился хронологический режим — он позволит по-иному взглянуть на сюжет игры 11 ч.
«Не передать словами, что это значит для нас»: создатели философского выживания The Alters похвастались продажами игры 12 ч.
Российский суд оштрафовал Twitch, TikTok и Pinterest — каждую на 7 млн рублей 12 ч.
Поставки ПК во втором квартале выросли на 6,5 % под влиянием угрозы таможенных тарифов в США 8 мин.
В Apple сменился операционный директор, который может в будущем заменить Тима Кука 2 ч.
Новая статья: Обзор видеокарты GIGABYTE AORUS GeForce RTX 5060 Ti ELITE 16G: цена тишины 6 ч.
Новая статья: Обзор беспроводной колонки Tronsmart Bang Max: дачный певец 7 ч.
Первая национальная ракета Канады «Тайга» стартует в августе — через пару лет полетит «Тундра» 9 ч.
Tecno представила серию тонких и доступных смартфонов Spark 40 с ворохом ИИ-функций 10 ч.
SSD и оперативная память подорожают — Трамп анонсировал 25-% пошлину на все товары из Японии и Южной Кореи 12 ч.
Британская полиция выделит £75 млн на оцифровку своих архивов VHS-видеокассет 13 ч.
«Билайн» модернизировал транспортную сеть, добавив ВОЛС на 1,6 Тбит/с. 13 ч.
Китай впервые в истории дозаправил спутник на высоте 36 000 км — это не точно, но США обеспокоены 13 ч.