Сегодня 05 июля 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

ASML обновила рекорд плотности транзисторов на EUV-сканере и рассказала о перспективной технологии Hyper-NA

ASML доложила на конференции Imec ITF World 2024, что ей удалось побить собственный рекорд плотности размещения транзисторов с помощью своего первого литографического сканера с высокой числовой апертурой (High-NA), установленный немногим более месяца назад. Компания также сообщила о перспективной разработке более совершенного оборудования класса Hyper-NA и изложила план по двухкратному повышению производительности, сообщает Tom’s Hardware.

 Источник изображения: ASML

Источник изображения: ASML

Бывший президент и технический директор ASML Мартин ван ден Бринк (Martin van den Brink), сейчас работающий в компании консультантом, сообщил, что ASML разработает сканер Hyper-NA, более совершенный, чем существующий High-NA. Он также изложил план по снижению затрат на производство чипов на оборудовании со сверхжёстким ультрафиолетовым излучением (EUV) за счёт увеличения скорости обработки до 400–500 кремниевых пластин в час — это более чем вдвое превышает актуальный показатель в 200 пластин в час. И предложил модульную унифицированную конструкцию перспективных линеек EUV-оборудования ASML.

 Источник изображения: tomshardware.com

Источник изображения: tomshardware.com

Осуществив дополнительную настройку оборудования, сообщил Мартин ван ден Бринк, ASML удалось напечатать на оборудовании High-NA EUV линии плотностью 8 нм — это рекорд для производственного сканера. Предыдущий рекорд компания установила в апреле, напечатав линии плотностью 10 нм на машине в совместной с Imec лаборатории в нидерландском Вельдховене. Для сравнения, стандартные машины ASML Low-NA EUV способны печатать элементы размером до 13,5 нм (критический размер — critical dimensions или CD), а новый сканер EXE:5200 High-NA позволяет создавать транзисторы с элементами до 8 нм, и ASML продемонстрировала, что он соответствует заявленным характеристикам.

Теперь компании предстоит провести работу по оптимизации системы и её подготовке к массовому производству. Эта работа уже ведётся в Нидерландах, а Intel, единственный производитель чипов, располагающий полностью собранной системой High-NA, повторяет шаги разработчика по мере её ввода в эксплуатацию на заводе D1X в Орегоне. На начальном этапе Intel будет использовать её в исследованиях и разработке, после чего запустит на EXE:5200 производство продукции класса 14A. Ван дер Бринк ещё раз упомянул машину Hyper-NA EUV, но окончательное решение по ней ещё не принято — ASML, вероятно, пока оценивает интерес отрасли.

 Источник изображения: tomshardware.com

Источник изображения: tomshardware.com

Современная стандартная машина EUV работает со светом длиной волны 13,5 нм и числовой апертурой 0,33 (это мера способности оборудования фокусировать свет). Оборудование с высокой числовой апертурой 0,55 использует ту же длину волны, но позволяет печатать более мелкие элементы. Система Hyper-NA, о которой говорит Мартин ван дер Бринк, сохранит ту же длину волны света, но числовая апертура увеличится до 0,75, позволив печатать ещё более мелкие элементы. Критический размер элементов для такого оборудования компания не указала, но привела соответствующий Hyper-NA шаг металлизации (metal pitch), то есть минимальное расстояние между металлическими элементами на чипе — этот показатель варьируется от 16 нм на узлах A3 до 10 нм на узлах менее A2 и датируется второй половиной следующего десятилетия.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Новая статья: Two Falls (Nishu Takuatshina) — в поисках взаимопонимания. Рецензия 48 мин.
Продюсер Xbox посоветовал уволенным сотрудникам обратиться к ИИ, чтобы «снять эмоциональную нагрузку» 56 мин.
Загадочный хоррор OD от Кодзимы не попал в число жертв Microsoft — «по крайней мере, пока» 2 ч.
Создатели Helldivers 2 ответили, выйдет ли игра в Game Pass — «однозначно» нет 2 ч.
Google изменит поиск под давлением ЕС: в топе выдачи теперь будут сайты конкурентов 3 ч.
Наследие 3dfx Interactive живёт: энтузиасты открыли дорогу к браузерной эмуляции культовых игр конца 90-х 3 ч.
Разработчики Subnautica 2 не объяснили внезапную смену руководства, но зато в игре не будет лутбоксов и боевых пропусков 5 ч.
Издатели пожаловались на Google в Еврокомиссию — они несут убытки от ИИ-обзоров в поиске 6 ч.
«Очень грустный день для одной из лучших гоночных игр»: бывший сотрудник Turn 10 прояснил судьбу Forza Motorsport после массовых увольнений в студии 6 ч.
Анонсирована Resident Evil: Survival Unit — это мобильная хоррор-стратегия на выживание от соавтора Kingdom Hearts 8 ч.
Плотнее, быстрее, дешевле: керамические накопители Cerabyte готовятся составить конкуренцию LTO 54 мин.
ЕС наведёт порядок в космосе: готовится первый в истории «Европейский закон о космосе» 2 ч.
Испытания солью, пылью и асфальтом: Apple показала, как тестирует iPhone на прочность 2 ч.
США хотят ограничить поставки ИИ-чипов в Малайзию и Таиланд, потому что оттуда они нелегально мигрируют в Китай 5 ч.
Разработчик RISC-V-чипов Codasip готов продаться — целиком или по частям 5 ч.
ИИ провоцирует резкие скачки потребления электроэнергии, что разрушает энергетическую инфраструктуру по всему миру 6 ч.
«Джеймс Уэбб» запечатлел яркое столкновение двух скоплений галактик 6 ч.
Большинство новейших видеокарт по-прежнему продаются с наценкой в 12–57 % — особенно GeForce RTX 5090 и 5080 6 ч.
Fairphone 6 получил высшую оценку ремонтопригодности от iFixit 8 ч.
TSMC отложила строительство второго завода чипов в Японии ради расширения производства в США 8 ч.