Сегодня 25 июля 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

ASML обновила рекорд плотности транзисторов на EUV-сканере и рассказала о перспективной технологии Hyper-NA

ASML доложила на конференции Imec ITF World 2024, что ей удалось побить собственный рекорд плотности размещения транзисторов с помощью своего первого литографического сканера с высокой числовой апертурой (High-NA), установленный немногим более месяца назад. Компания также сообщила о перспективной разработке более совершенного оборудования класса Hyper-NA и изложила план по двухкратному повышению производительности, сообщает Tom’s Hardware.

 Источник изображения: ASML

Источник изображения: ASML

Бывший президент и технический директор ASML Мартин ван ден Бринк (Martin van den Brink), сейчас работающий в компании консультантом, сообщил, что ASML разработает сканер Hyper-NA, более совершенный, чем существующий High-NA. Он также изложил план по снижению затрат на производство чипов на оборудовании со сверхжёстким ультрафиолетовым излучением (EUV) за счёт увеличения скорости обработки до 400–500 кремниевых пластин в час — это более чем вдвое превышает актуальный показатель в 200 пластин в час. И предложил модульную унифицированную конструкцию перспективных линеек EUV-оборудования ASML.

 Источник изображения: tomshardware.com

Источник изображения: tomshardware.com

Осуществив дополнительную настройку оборудования, сообщил Мартин ван ден Бринк, ASML удалось напечатать на оборудовании High-NA EUV линии плотностью 8 нм — это рекорд для производственного сканера. Предыдущий рекорд компания установила в апреле, напечатав линии плотностью 10 нм на машине в совместной с Imec лаборатории в нидерландском Вельдховене. Для сравнения, стандартные машины ASML Low-NA EUV способны печатать элементы размером до 13,5 нм (критический размер — critical dimensions или CD), а новый сканер EXE:5200 High-NA позволяет создавать транзисторы с элементами до 8 нм, и ASML продемонстрировала, что он соответствует заявленным характеристикам.

Теперь компании предстоит провести работу по оптимизации системы и её подготовке к массовому производству. Эта работа уже ведётся в Нидерландах, а Intel, единственный производитель чипов, располагающий полностью собранной системой High-NA, повторяет шаги разработчика по мере её ввода в эксплуатацию на заводе D1X в Орегоне. На начальном этапе Intel будет использовать её в исследованиях и разработке, после чего запустит на EXE:5200 производство продукции класса 14A. Ван дер Бринк ещё раз упомянул машину Hyper-NA EUV, но окончательное решение по ней ещё не принято — ASML, вероятно, пока оценивает интерес отрасли.

 Источник изображения: tomshardware.com

Источник изображения: tomshardware.com

Современная стандартная машина EUV работает со светом длиной волны 13,5 нм и числовой апертурой 0,33 (это мера способности оборудования фокусировать свет). Оборудование с высокой числовой апертурой 0,55 использует ту же длину волны, но позволяет печатать более мелкие элементы. Система Hyper-NA, о которой говорит Мартин ван дер Бринк, сохранит ту же длину волны света, но числовая апертура увеличится до 0,75, позволив печатать ещё более мелкие элементы. Критический размер элементов для такого оборудования компания не указала, но привела соответствующий Hyper-NA шаг металлизации (metal pitch), то есть минимальное расстояние между металлическими элементами на чипе — этот показатель варьируется от 16 нм на узлах A3 до 10 нм на узлах менее A2 и датируется второй половиной следующего десятилетия.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Apple выпустила первые публичные беты iOS 26 и других ОС с прозрачным дизайном Liquid Glass 5 ч.
«Парадокс успеха»: глава Microsoft попытался успокоить сотрудников после новой волны увольнений 5 ч.
Ubisoft раскрыла дату выхода дополнения Claws of Awaji к Assassin’s Creed Shadows и план улучшений игры 5 ч.
Google объявила дату отключения сервиса сокращения ссылок goo.gl 8 ч.
Официальный сайт Electronic Arts случайно подтвердил, когда выйдет Battlefield 6 8 ч.
Apple запустила онлайн-генератор обоев с логотипом компании 8 ч.
Маск анонсировал возрождение «вайнов», но «в форме с искусственным интеллектом» 8 ч.
Techland уверена, что Dying Light: The Beast отобьёт каждый потраченный на неё доллар, в отличие от Assassin’s Creed Shadows 9 ч.
Figma открыла доступ к ИИ-генератору приложений по текстовому описанию всем желающим 9 ч.
Их заменил ИИ: ведущие технологические компании уволили более 100 000 специалистов с начала года 10 ч.
Акции Tesla подешевели на 8 %, но Трамп дал понять, что не желает разрушить компании Маска 24 мин.
Новая статья: Обзор игрового QD-OLED DQHD-монитора Acer Predator X49X 4 ч.
Endgame Gear извинилась за инцидент с трояном в драйвере для мыши и пообещала больше такого не допускать 5 ч.
Новая статья: Ноутбук Digma Pro Fortis M с процессором Intel Raptor Lake: для учёбы и не только 5 ч.
Для изучения полярных щелей Земли NASA запустило два космических зонда 8 ч.
Vivo представила смартфон iQOO Z10R — чип Dimensity 7400, защищённый корпус и цена от $225 9 ч.
Intel отбилась от иска акционеров из-за падения капитализации на $32 млрд 9 ч.
Gartner: объём мирового IT-рынка в 2025 году превысит $5,4 трлн, а его основным драйвером станут ИИ ЦОД 11 ч.
Ryzen Threadripper Pro 9995WX разогнали с помощью системы охлаждения спорткара BWM — до жидкого азота далеко 12 ч.
Amazon выпустила более доступный ридер Kindle Colorsoft с цветным экраном, а также версию для детей 12 ч.