Сегодня 17 октября 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

В Японии значительно упростили EUV-сканер, что может резко удешевить производство передовых чипов

Профессор Цумору Шинтаке (Tsumoru Shintake) из Окинавского института науки и технологий (OIST) разработал существенно упрощённый инструмент для EUV-литографии, который значительно дешевле сканеров производства ASML. Предложенная им литографическая система использует два зеркала вместо шести. Если устройство поступит в массовое производство, оно может изменить отрасль оборудования для производства чипов, если не всю полупроводниковую промышленность.

 Источник изображения: Samsung

Источник изображения: Samsung

Новая система использует в своей оптической проекционной установке только два зеркала, что значительно отличается от традиционной конфигурации из шести зеркал. Новый укороченный оптический путь позволяет более 10 % начальной EUV-энергии достигать пластины по сравнению с примерно 1 % в используемых в настоящее время установках, что является серьёзным прорывом.

Команда профессора Шинтаке решила две основные проблемы в EUV-литографии: предотвращение оптических аберраций и обеспечение эффективной передачи света. Разработанный ими метод «двойного линейного поля» экспонирует фотошаблон, сводя к минимуму искажения и повышая точность изображения на кремниевой пластине.

 Источник изображения: OIST

Источник изображения: OIST

Одним из ключевых преимуществ предложенного решения является повышенная надёжность и простота обслуживания оборудования. Не менее существенным достоинством этой конструкции стало радикальное снижение энергопотребления. Благодаря оптимизированному оптическому пути система использует источник EUV-излучения мощностью всего 20 Вт, а общее энергопотребление составляет менее 100 кВт, что на порядок ниже, чем потребность традиционных систем EUV-литографии. Благодаря сниженному энергопотреблению также упрощается и удешевляется система охлаждения.

Производительность новой системы была тщательно проверена с использованием программного обеспечения для оптического моделирования, подтвердив её способность производить передовые полупроводники. Учёные подали заявку на патент, что свидетельствует о готовности новой технологии к коммерческому внедрению. Разработчики рассматривают новую систему EUV-литографии как важный шаг к снижению энергопотребления и других затрат на производство микросхем, но конкретные сроки начала коммерческой эксплуатации нового сканера пока не называются.

Экономические последствия изобретения весьма многообещающие. Ожидается, что мировой рынок EUV-литографии вырастет с $8,9 млрд в 2024 году до $17,4 млрд к 2030 году.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Умер легендарный гейм-дизайнер Томонобу Итагаки — создатель Dead or Alive и отец современной Ninja Gaiden 11 ч.
OnePlus представила OxygenOS 16 в стиле iOS с расширенными ИИ-функциями и не только 11 ч.
Мультиплеерной игрой Quantic Dream оказалась условно-бесплатная MOBA — первый трейлер, геймплей и подробности Spellcasters Chronicles 12 ч.
Battlefield 6 установила новый рекорд скорости продаж для франшизы — 7 миллионов копий за три дня 13 ч.
Партнёр PayPal по блокчейну случайно выпустил стейблкоины на $300 триллионов 15 ч.
Windows 11 получит голосовое управление, будет следить за происходящим на экране и выполнять поручения пользователя 15 ч.
Приложения Facebook Messenger для Windows и macOS перестанут работать через 60 дней 15 ч.
Разработчик Heavy Rain и Detroit: Become Human впервые взялся за мультиплеерную игру, а Star Wars Eclipse всё ещё жива 15 ч.
Спрос на молодых айтишников в Великобритании рухнул на 46 % из-за ИИ — дальше будет хуже 16 ч.
Google упростила поиск фото на Android-смартфонах, но пока не для всех 16 ч.
BMW призналась, что захват Nexperia властями Нидерландов создаст проблемы с поставками комплектующих 31 мин.
Обновлённые Apple MacBook Pro получат OLED-дисплеи и чипы M6 уже в следующем году 2 ч.
Nintendo намерена до марта выпустить 25 млн игровых консолей Switch 2 4 ч.
Британцы раздумывали над уничтожением дата-центра с секретными данными, который по недосмотру достался компании, связанной с Китаем 8 ч.
Новая статья: Обзор игрового QD-Mini LED VA-монитора MSI MAG 274QPF X30MV: редкое сочетание 9 ч.
Oppo представила сверхтонкие смарт-часы Watch S с 1,46-дюймовым экраном и автономностью до 10 дней 10 ч.
Водители Uber будут обучать искусственный интеллект в перерывах между заказами 11 ч.
Загадочное свечение центра Млечного Пути может пролить свет на тайну тёмной материи 11 ч.
Qualcomm и MediaTek задумались о передаче заказов на выпуск чипов Samsung — TSMC задрала цены 13 ч.
Xiaomi продолжит оснащать флагманы тыловыми дисплеями после успеха Xiaomi 17 Pro 14 ч.