Сегодня 08 июля 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Китайские учёные создали передовой твердотельный лазер для полупроводниковой DUV-литографии

Китайские учёные построили компактную твердотельную лазерную систему, которая генерирует когерентный свет с длиной волны 193 нм. Это изобретение обещает прорыв в полупроводниковой литографии и других технологических областях.

 Источник изображения: spie.org

Источник изображения: spie.org

Лазеры, работающие в глубоком ультрафиолете (DUV) с высокой энергией фотонов и короткими длинами волн, применяются в полупроводниковой литографии, спектроскопии высокого разрешения, прецизионной (высокоточной) обработке материалов и в квантовых технологиях. Их отличают высокая когерентность и низкое потребление энергии в сравнении с эксимерными или газоразрядными лазерами, то есть возможность создавать компактные установки.

Китайским учёным удалось добиться значительного прогресса и построить компактную твердотельную лазерную систему, способную генерировать когерентный луч с длиной волны 193 нм, сообщается в рецензируемом научном журнале Advanced Photonics Nexus. Эта длина волны имеет решающее значение в полупроводниковой литографии — процессе травления сложных узоров на кремниевых пластинах, составляющих основу современной электроники.

Лазерная система работает с импульсной частотой повторения 6 кГц, в ней используется усилитель на кристалле Yb:YAG (иттербий-допированный иттрий-алюминиевый гранат) и производится лазер с длиной волны 1030 нм. Луч разделяется на две части: одна проходит через нелинейный кристалл, где подвергается генерации четвёртой гармоники для производства луча 258 нм с выходной мощностью 1,2 Вт; вторая воздействует на оптический параметрический усилитель, генерируя лазер 1553 нм мощностью 700 мВт. Далее они объединяются в каскадных кристаллах LBO (триборат лития — LiB₃O₅), и производится лазер на 193 нм, достигающий средней мощности 70 мВт с шириной линии менее 880 МГц. Перед смешиванием частот исследователи ввели в луч 1553 нм спиральную фазовую пластину, благодаря которой стал генерироваться вихревой луч с орбитальным угловым моментом — спиральный лазерный луч.

Таким образом, учёным удалось впервые произвести на твердотельной установке вихревой лазерный луч с длиной волны 193 нм. Он сможет применяться для затравки гибридных эксимерных лазеров на фториде аргона (ArF), использоваться в литографии кремниевых пластин, выявлении дефектов, в квантовой связи и оптическом микроманипулировании. Система предлагает более высокую эффективность и точность для полупроводниковой литографии и открывает новые возможности для производственных технологий. Генерация вихревого луча с длиной волны 193 нм обещает дальнейшие прорывы в этой области вплоть до революции в производстве электроники.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Amazon намерена запретить сыну Константина Малофеева судиться с Twitch за пределами Калифорнии 11 мин.
МТС взялась за разработку собственных видеоигр 44 мин.
Huawei обвинили в копировании ИИ конкурентов — компания всё отрицает 46 мин.
Google открыла Gemini доступ ко всем приложениям на Android и толком не объяснила, как от этого отказаться 48 мин.
«Яндекс» наконец перешёл в прямое управление к участникам «Консорциум.Первый» 53 мин.
«ЗН Цифра» внедрила решения импортонезависимой экосистемы «Базиса» 60 мин.
OpenAI усилила режим секретности, опасаясь утечки передовых ИИ-разработок 2 ч.
Упор на сюжет, жуткие анимации и физическое ощущение ужаса: новые подробности гротескного хоррора Ill 2 ч.
«Romero Games не закрылась»: студия соавтора Doom Джона Ромеро жива, несмотря на отмену нового шутера 4 ч.
Британские СМИ восстали против ИИ-сводок в поиске Google и требуют отключить опцию 5 ч.
Китайцы создали самого быстрого в мире робопса — за стометровку он мог бы претендовать на золотой знак ГТО 12 мин.
Изменения климата грозят дефицитом чипов — через 10 лет мир столкнётся с нехваткой меди для полупроводников 54 мин.
Intel запустила новую волну сокращений — работы лишатся тысячи специалистов 2 ч.
Gateway расправила плечи — гигантскую солнечную батарею для лунной станции впервые развернули во всю длину 2 ч.
Администрация Трампа опять надавила на Apple за промедление в переносе производства электроники в США 3 ч.
В гонке за лидерство в сфере ИИ поможет инфраструктура, а не хайп 3 ч.
Прибыль Samsung должна упасть впервые с 2023 года, причём сразу на 56 % 4 ч.
Jsaux представила кулер с клипсой для Nintendo Switch 2 5 ч.
Meta заполучила ещё одного крупного специалиста по ИИ — теперь из Apple 8 ч.
Суд не удовлетворил очередную жалобу Apple на запрет продажи в США часов Watch с датчиком содержания кислорода в крови 8 ч.