Сегодня 21 мая 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

В Китае создали суверенный твердотельный источник света для EUV-литографов — лучше, чем у ASML

EUV-литографы компании ASML в качестве основы для источника света используют газовые лазеры CO₂. Они достаточно мощные, но при этом громоздкие и малоэффективные по сравнению с твердотельными лазерами. Твердотельные лазеры, в свою очередь, не отличаются высокой мощностью и непригодны для установки в литографы, хотя имеют колоссальные перспективы в этой области. У Китая также появились свои разработки в этой сфере, и они не хуже, чем у других.

 Источник изображения: ИИ-генерация Grok 3/3DNews

Источник изображения: ИИ-генерация Grok 3/3DNews

Недавно команда из Шанхайского института оптики и точной механики (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics) Китайской академии наук под руководством Линя Наня (Lin Nan), ранее возглавлявшего отдел технологии источников света в ASML в Нидерландах, опубликовала в китайском научном журнале Lasers работу, посвящённую разработке в Китае твердотельного лазера для источника света EUV-литографа. Тем самым Китай приближается к созданию собственных EUV-литографов для производства самых передовых полупроводников, поскольку США запрещают продавать такое оборудование китайским компаниям.

Конверсионная эффективность газовых лазеров CO₂ составляет около 5 % (в свет превращается лишь 5 % затраченной на его производство электрической энергии). Твердотельные лазеры обещают превзойти этот показатель, а если говорить о габаритах, то сравнение и вовсе не в пользу газовых лазеров: одно дело — работа с газом, другое — компактный «светодиод». Сегодня полупроводниковые твердотельные лазеры широко применяются для сварки и других операций с металлом.

Пока что мощность распространённых твердотельных лазеров сравнительно невелика для целей литографического производства — около 1 Вт, реже до 10 Вт. Газовый лазер способен развивать мощность до 250 Вт. Тем не менее твердотельные лазеры уже сегодня можно использовать в рамках EUV-литографии — например, для проверки EUV-масок на наличие дефектов или для оценки воздействия EUV-излучения на материалы.

В своих экспериментах китайская группа добилась конверсионной эффективности твердотельного лазера с длиной волны 1 мкм на уровне 3,42 %. Это выше, чем у группы учёных Нидерландского центра передовых исследований в области нанолитографии, добившейся в 2019 году 3,2 %, и чем у исследователей из Швейцарского федерального технологического института в Цюрихе (ETH Zurich), достигших 1,8 % в 2021 году.

Впереди остались только американские и японские исследователи: группа из Университета Центральной Флориды (University of Central Florida) в 2007 году показала лазерную установку с эффективностью 4,9 %, а учёные из японского Университета Уцуномия (Utsunomiya University) — с результатом 4,7 %.

Для сравнения, эффективность преобразования коммерчески доступных источников света для EUV-фотолитографии на основе CO₂-лазера составляет около 5,5 %.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Конец немого ИИ-видео: Google представила Veo 3 — первый генератор видео со звуком 26 мин.
Google Chrome начнёт автоматически менять слабые или взломанные пароли, но сначала попросит разрешения 2 ч.
Google научила Meet переводить речь «на лету» с сохранением интонаций и тона голоса 4 ч.
«Революционный» симулятор RoadCraft от создателей SnowRunner заслужил на релизе в Steam «смешанные» отзывы 4 ч.
Создатель Cyberpunk проговорился, что сиквел Cyberpunk 2077 отправит игроков не только в Найт-Сити 5 ч.
Shift Up непринуждённо подтвердила, когда выйдет Stellar Blade 2 7 ч.
Франция запретила основателю Telegram Павлу Дурову поездку в США 8 ч.
Netflix анонсировала «эпичный, уморительный и чуть более чем безумный» анимационный сериал по Clash of Clans и Clash Royale — первые детали 8 ч.
MIND Software анонсировала отечественную программно определяемую СХД MIND uStor 9 ч.
Microsoft добавила в «Проводник» ИИ-действия 9 ч.
Новая статья: Обзор смартфона CMF Phone 2 Pro: все еще удивляет 4 ч.
Маршруты не совпали: Intel собралась продать телекоммуникационный и сетевой бизнес 4 ч.
SteelSeries выпустила недорогие игровые мыши Rival 3 Gen 2 в версиях с проводами и без 6 ч.
TeamGroup показала термоэлектрический кулер для SSD и другие экстравагантные охладители для накопителей 6 ч.
Для самых потных каток: Pulsar Gaming представила мышь с вентилятором Noctua 6 ч.
Представлен самый мощный в мире квантовый компьютер — D-Wave Advantage2 с более чем 4400 кубитами 6 ч.
InWin представила метровый футуристический корпус ChronoMancy в форме кубка и другие новинки 7 ч.
Россия потратит 4,5 трлн рублей на космос за 10 лет — при этом планируется экономить 8 ч.
Cherry представила первый индукционный переключатель IK с нулевым износом и механические MX Honey, MX Blossom и MX Falcon 8 ч.
Ровер NASA Perseverance показал восход Деймоса перед рассветом на Марсе 8 ч.