Сегодня 13 мая 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

В Китае создали суверенный твердотельный источник света для EUV-литографов — лучше, чем у ASML

EUV-литографы компании ASML в качестве основы для источника света используют газовые лазеры CO₂. Они достаточно мощные, но при этом громоздкие и малоэффективные по сравнению с твердотельными лазерами. Твердотельные лазеры, в свою очередь, не отличаются высокой мощностью и непригодны для установки в литографы, хотя имеют колоссальные перспективы в этой области. У Китая также появились свои разработки в этой сфере, и они не хуже, чем у других.

 Источник изображения: ИИ-генерация Grok 3/3DNews

Источник изображения: ИИ-генерация Grok 3/3DNews

Недавно команда из Шанхайского института оптики и точной механики (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics) Китайской академии наук под руководством Линя Наня (Lin Nan), ранее возглавлявшего отдел технологии источников света в ASML в Нидерландах, опубликовала в китайском научном журнале Lasers работу, посвящённую разработке в Китае твердотельного лазера для источника света EUV-литографа. Тем самым Китай приближается к созданию собственных EUV-литографов для производства самых передовых полупроводников, поскольку США запрещают продавать такое оборудование китайским компаниям.

Конверсионная эффективность газовых лазеров CO₂ составляет около 5 % (в свет превращается лишь 5 % затраченной на его производство электрической энергии). Твердотельные лазеры обещают превзойти этот показатель, а если говорить о габаритах, то сравнение и вовсе не в пользу газовых лазеров: одно дело — работа с газом, другое — компактный «светодиод». Сегодня полупроводниковые твердотельные лазеры широко применяются для сварки и других операций с металлом.

Пока что мощность распространённых твердотельных лазеров сравнительно невелика для целей литографического производства — около 1 Вт, реже до 10 Вт. Газовый лазер способен развивать мощность до 250 Вт. Тем не менее твердотельные лазеры уже сегодня можно использовать в рамках EUV-литографии — например, для проверки EUV-масок на наличие дефектов или для оценки воздействия EUV-излучения на материалы.

В своих экспериментах китайская группа добилась конверсионной эффективности твердотельного лазера с длиной волны 1 мкм на уровне 3,42 %. Это выше, чем у группы учёных Нидерландского центра передовых исследований в области нанолитографии, добившейся в 2019 году 3,2 %, и чем у исследователей из Швейцарского федерального технологического института в Цюрихе (ETH Zurich), достигших 1,8 % в 2021 году.

Впереди остались только американские и японские исследователи: группа из Университета Центральной Флориды (University of Central Florida) в 2007 году показала лазерную установку с эффективностью 4,9 %, а учёные из японского Университета Уцуномия (Utsunomiya University) — с результатом 4,7 %.

Для сравнения, эффективность преобразования коммерчески доступных источников света для EUV-фотолитографии на основе CO₂-лазера составляет около 5,5 %.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
iPhone научатся дольше работать от батареи — Apple поручит ИИ управление питанием 29 мин.
Вышла iOS 18.5, которая принесла на iPhone 13 бесплатную спутниковую связь 45 мин.
Sony случайно «слила» трейлер с датой выхода Stellar Blade на ПК 2 ч.
«Давайте нам деньги и вычислительные ресурсы и не путайтесь под ногами»: OpenAI и Microsoft пытаются договориться о продолжении сотрудничества на фоне роста амбиций стартапа 5 ч.
Календарь релизов — 12–18 мая: Doom: The Dark Ages, The Precinct и Preserve 5 ч.
Remedy анонсировала закрытое тестирование шутера FBC: Firebreak по мотивам Control — сроки, системные требования, доступный контент 5 ч.
Nvidia выпустила драйвер GeForce с поддержкой Doom: The Dark Ages 6 ч.
Вышла новая версия песочницы Kaspersky Research Sandbox 3.0 с расширенными возможностями для ИБ-специалистов 7 ч.
«Игра, которую невозможно создать в наше время»: издатель «Приключений капитана Блада» призвал не судить воскресший экшен по современным меркам 7 ч.
Смартфоны Honor 400 смогут анимировать фото с помощью ИИ-генератора от Google 8 ч.
Новая статья: Обзор робота-пылесоса Midea VCR S10 Plus: одноразовые мешки для сбора мусора, прощайте! 56 мин.
Google и Elementl реализуют в США три 600-МВт атомных проекта 4 ч.
Western Digital инвестирует в технологию вечного хранения данных на керамике Cerabyte 5 ч.
Оперативная память скоро подорожает: Samsung подняла контрактные цены на DRAM 7 ч.
Космический телескоп «Джеймс Уэбб» показал полярное сияние на Юпитере — в сотни раз ярче, чем на Земле 7 ч.
CoreWeave всего через несколько недель после IPO захотела взять в долг ещё $1,5 млрд 7 ч.
Облако.ру предлагает ИИ-системы, которые позволят запускать даже мощные ИИ-модели 8 ч.
Apple поднимет цены на iPhone, но пока не придумала, чем это объяснить 8 ч.
Акции техногигантов подскочили после приостановки тарифов между США и Китаем 8 ч.
Nvidia негласно подняла цены на все чипы: GeForce подорожали на 5–10 %, а ИИ-ускорители — на 10–15 % 9 ч.