Сегодня 21 июня 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Российские 193-нм литографы появятся через пару лет, и будут работать по старинке

В интервью корреспонденту ТАСС президент Российской академии наук Геннадий Красников рассказал, что российские 193-нм литографические сканеры для производства передовых чипов появятся примерно через два года. Более того, учёный отметил, что в основу установок будут положены классические эксимерные источники света, а не твердотельные лазеры со всеми сопутствующими преимуществами.

 Источник изображения: еленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ)

Процесс создания российского литографа. Источник изображения: Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ)

Некоторое время назад стало известно, что российские и белорусские исследователи совместно создали литографический сканер с длиной волны 350 нм. Классические литографы прошлых десятилетий использовали в качестве источника света для таких разрешений ртутные лампы с длиной волны 365 нм. Российско-белорусская разработка опиралась на передовой твердотельный источник света — лазер, что позволило сделать сканер более компактным, эффективным и экономичным.

Можно было бы ожидать, что дальнейшее сокращение длины волны и повышение разрешения проекции пойдут тем же путём. Однако пока этого не произойдёт. Как признался господин Красников, сейчас учёные работают с эксимерными источниками света на базе смеси благородных газов — в частности, с источниками на длине волны 248 нм и, в ближайшей перспективе, с классическими 193-нм лазерами.

Это путь, уже испытанный мировыми производителями литографического оборудования, и он надёжен, как швейцарские часы. Газовые лазеры уступают по совокупным эксплуатационным характеристикам полупроводниковым, но они уже сегодня способны обеспечить то, что твердотельным лазерам ещё долго будет не под силу, — мощность излучения, достаточную для высокой производительности литографических установок.

Обнадёживающим можно считать заявление о вероятном появлении 193-нм сканеров уже через два года. Такое оборудование всё ещё способно выпускать передовые чипы вплоть до 5-нм техпроцессов. Полупроводниковая промышленность приблизилась к границам возможного в снижении технологических норм, и сканеры с длиной волны 193 нм ещё долго будут оставаться передовыми установками.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Sega случайно раскрыла актуальные продажи последних Persona, Yakuza, Sonic и Total War, а Persona 4 Revival придётся подождать 31 мин.
Для достижения своих целей продвинутые модели ИИ будут хитрить, обманывать и воровать 3 ч.
Microsoft начала масштабное удаление устаревших драйверов из «Центра обновления Windows» 4 ч.
Apple тоже интересовалась покупкой ИИ-стартапа Perplexity 4 ч.
Samsung запустит собственную систему оповещения о землетрясениях с функциями, которых нет у Google 6 ч.
Инвесторы поверили в бывшего топ-менеджера OpenAI: Мурати привлекла $2 млрд без единого продукта 6 ч.
Meta до сделки с Scale AI присматривалась к Perplexity 6 ч.
Новая статья: The Alters — сам себе экипаж. Рецензия 12 ч.
Apple похоронила «убийцу USB» — в macOS 26 Tahoe исчезла поддержка интерфейса FireWire 13 ч.
Душевный шутер Chains of Lukomorye отправит солдата Первой мировой войны в царство славянских сказок спасать потерянную любовь 14 ч.
Через 10 лет ИИ-ускорители получат терабайты HBM и будут потреблять 15 кВт — это изменит подход к проектированию, питанию и охлаждению ЦОД 3 ч.
В роботакси Tesla нельзя будет попасть просто с улицы, а страхующий оператор всегда будет сидеть в кресле переднего пассажира 4 ч.
SK Hynix первой предложит память HBM4E и уже заключила контракт с Nvidia и Microsoft 6 ч.
Основатель SoftBank предложил создать в США хаб Crystal Land стоимостью $1 трлн для развития ИИ и роботов 10 ч.
Акции производителей чипов упали из-за антикитайских угроз властей США в адрес TSMC, Samsung и SK Hynix 11 ч.
ИИ-кластер Huawei CloudMatrix 384 обошёл решения Nvidia в тестах с DeepSeek R1 12 ч.
Госзакупки зарубежных СХД и серверов упали более чем вдвое 13 ч.
«Мам, мне для учёбы», — Apple сделала 81-страничную презентацию, чтобы убеждать родителей купить Mac 13 ч.
США запретят TSMC, Samsung и SK Hynix использовать американское оборудование на китайских заводах 14 ч.
Tecno сообщила о глобальном старте продаж смартфонов серии Pova 7 14 ч.