Сегодня 01 июля 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Российские 193-нм литографы появятся через пару лет, и будут работать по старинке

В интервью корреспонденту ТАСС президент Российской академии наук Геннадий Красников рассказал, что российские 193-нм литографические сканеры для производства передовых чипов появятся примерно через два года. Более того, учёный отметил, что в основу установок будут положены классические эксимерные источники света, а не твердотельные лазеры со всеми сопутствующими преимуществами.

 Источник изображения: еленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ)

Процесс создания российского литографа. Источник изображения: Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ)

Некоторое время назад стало известно, что российские и белорусские исследователи совместно создали литографический сканер с длиной волны 350 нм. Классические литографы прошлых десятилетий использовали в качестве источника света для таких разрешений ртутные лампы с длиной волны 365 нм. Российско-белорусская разработка опиралась на передовой твердотельный источник света — лазер, что позволило сделать сканер более компактным, эффективным и экономичным.

Можно было бы ожидать, что дальнейшее сокращение длины волны и повышение разрешения проекции пойдут тем же путём. Однако пока этого не произойдёт. Как признался господин Красников, сейчас учёные работают с эксимерными источниками света на базе смеси благородных газов — в частности, с источниками на длине волны 248 нм и, в ближайшей перспективе, с классическими 193-нм лазерами.

Это путь, уже испытанный мировыми производителями литографического оборудования, и он надёжен, как швейцарские часы. Газовые лазеры уступают по совокупным эксплуатационным характеристикам полупроводниковым, но они уже сегодня способны обеспечить то, что твердотельным лазерам ещё долго будет не под силу, — мощность излучения, достаточную для высокой производительности литографических установок.

Обнадёживающим можно считать заявление о вероятном появлении 193-нм сканеров уже через два года. Такое оборудование всё ещё способно выпускать передовые чипы вплоть до 5-нм техпроцессов. Полупроводниковая промышленность приблизилась к границам возможного в снижении технологических норм, и сканеры с длиной волны 193 нм ещё долго будут оставаться передовыми установками.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
МТС Web Services запустила B2B-платформу MWS Data с ИИ-агентами для работы с большими данными 38 мин.
Electronic Arts опубликовала тизер первой за 16 лет новой NCAA March Madness — 2K тоже дразнит фанатов возвращением в игру 46 мин.
Будущее Halo прояснится в октябре, и фанаты «не захотят пропускать» это 3 ч.
Запуски ракет NASA и работу астронавтов в открытом космосе начнут показывать на Netflix 3 ч.
Siri может поумнеть с помощью ИИ OpenAI или Anthropic — у Apple не получается обучить достойный ИИ самостоятельно 3 ч.
Warhammer 40,000: Space Marine 2 продолжит получать новый контент — подробности крупного обновления 10.0 3 ч.
«Яндекс» открыл бесплатный доступ к своей лучшей нейросети YandexGPT 5 Pro через «Чат с Алисой» 4 ч.
Стартапу xAI Илона Маска удалось недавно привлечь в общей сложности $10 млрд 7 ч.
Руководство OpenAI признало, что конкуренция за ценные кадры вынуждает его шевелиться 11 ч.
Марк Цукерберг собрал звёздную команду для разработки суперинтеллекта 12 ч.
Xiaomi распродала все электромобили YU7 на год вперёд — и вызвала гнев сотен покупателей 2 ч.
Обновление системы резервного копирования TATLIN.BACKUP для защиты данных от вирусов-шифровальщиков 2 ч.
HPE продаст Instant On, чтобы купить Juniper, а Juniper лицензирует Mist, чтобы продаться HPE 2 ч.
В России запретят называть отечественными чипы, произведённые за границей — статус Baikal и «Эльбрус» под угрозой 3 ч.
Xiaomi задействовала 1000 роботов и передовые технологии для сборки электромобилей 3 ч.
Google договорилась о покупке термоядерной энергии у детища MIT — Commonwealth Fusion Systems 4 ч.
Россияне стали чаще покупать ноутбуки без операционной системы — так дешевле 4 ч.
Blue Origin в 13-й раз свозила туристов на границу космоса — и 1000 открыток в придачу 4 ч.
Amazon запустила инстансы EC2 C8gn с чипами Graviton4 для требовательных сетевых нагрузок 4 ч.
Вышел модуль Raspberry Pi Radio Module 2 с поддержкой Wi-Fi 4 за $4 4 ч.