Сегодня 22 июля 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Российские 193-нм литографы появятся через пару лет, и будут работать по старинке

В интервью корреспонденту ТАСС президент Российской академии наук Геннадий Красников рассказал, что российские 193-нм литографические сканеры для производства передовых чипов появятся примерно через два года. Более того, учёный отметил, что в основу установок будут положены классические эксимерные источники света, а не твердотельные лазеры со всеми сопутствующими преимуществами.

 Источник изображения: еленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ)

Процесс создания российского литографа. Источник изображения: Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ)

Некоторое время назад стало известно, что российские и белорусские исследователи совместно создали литографический сканер с длиной волны 350 нм. Классические литографы прошлых десятилетий использовали в качестве источника света для таких разрешений ртутные лампы с длиной волны 365 нм. Российско-белорусская разработка опиралась на передовой твердотельный источник света — лазер, что позволило сделать сканер более компактным, эффективным и экономичным.

Можно было бы ожидать, что дальнейшее сокращение длины волны и повышение разрешения проекции пойдут тем же путём. Однако пока этого не произойдёт. Как признался господин Красников, сейчас учёные работают с эксимерными источниками света на базе смеси благородных газов — в частности, с источниками на длине волны 248 нм и, в ближайшей перспективе, с классическими 193-нм лазерами.

Это путь, уже испытанный мировыми производителями литографического оборудования, и он надёжен, как швейцарские часы. Газовые лазеры уступают по совокупным эксплуатационным характеристикам полупроводниковым, но они уже сегодня способны обеспечить то, что твердотельным лазерам ещё долго будет не под силу, — мощность излучения, достаточную для высокой производительности литографических установок.

Обнадёживающим можно считать заявление о вероятном появлении 193-нм сканеров уже через два года. Такое оборудование всё ещё способно выпускать передовые чипы вплоть до 5-нм техпроцессов. Полупроводниковая промышленность приблизилась к границам возможного в снижении технологических норм, и сканеры с длиной волны 193 нм ещё долго будут оставаться передовыми установками.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Один из самых драматичных сюжетных поворотов Clair Obscur: Expedition 33 появился в игре благодаря шутке 40 мин.
Сериал по Mass Effect в надёжных руках: производством шоу займётся команда «Фоллаут» 2 ч.
«Нейроаналитик» «Яндекса» ускорит анализ и визуализацию данных 4 ч.
«Т-Банк» выпустил ИИ-модель распознавания речи с открытым исходным кодом — T-one 4 ч.
Copilot+PC на чипах AMD и Intel наконец получили новые ИИ-функции — на три месяца позже, чем Snapdragon X 5 ч.
Electronic Arts анонсировала открытую «бету» Battlefield 6, а в приложении EA App засветились её подробности 6 ч.
Плохо прогнозируемый эффект от применения ИИ — один из основных барьеров, сдерживающих его использование в промышленности 6 ч.
ИИ-модель Google Gemini получила золотую медаль Международной математической олимпиады 7 ч.
OpenAI раскрыла масштабы популярности ChatGPT: каждый день бот получает 2,5 млрд запросов 16 ч.
Microsoft реализовала на ПК и консолях Xbox кроссплатформенную историю запущенных игр, но пока не для всех 17 ч.
Устройства Google Home и Nest перестали понимать команды — и никто не знает почему 4 мин.
Учёные впервые увидели звезду-компаньона у Бетельгейзе — жить ей осталось недолго 8 мин.
Samsung Display оснастит флагманские Mercedes-Maybach огромными OLED-дисплеями 13 мин.
«Яндекс» начал продажи умной колонки «Станции Мини 3 Про» с модульной конструкцией и ценой 12 тыс. рублей 2 ч.
AAEON выпустила индустриальный одноплатный компьютер PICO-TWL4 на базе Intel Twin Lake 3 ч.
Nokia попытается ещё раз вернуться на рынок смартфонов с новым производителем 3 ч.
Tesla отпраздновала выпуск 3 миллионов Model 3 — по одной машине каждые 90 секунд 3 ч.
В NASA рассказали, как спасли камеру зонда «Юнона» в окрестностях Юпитера 4 ч.
Китайская MG выпустит электромобиль за $11 000 с полутвердотельным аккумулятором и запасом хода 537 км 4 ч.
Kioxia представила первый в мире NVMe SSD вместимостью 245 Тбайт 4 ч.