Сегодня 04 октября 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Разработана технология производства сверхминиатюрных чипов с использованием B-EUV-литографии

Учёные Университета Джонса Хопкинса (США) разработали передовую технологию в области производства чипов — сверхточные лазеры и инновационные материалы помогут сделать микросхемы меньше, чем когда-либо.

 Источник изображений: Johns Hopkins University

Источник изображений: Johns Hopkins University

Предложенные американскими учёными новые материалы и технологические решения расширят границы производства чипов — они станут компактнее, быстрее и доступнее, а использовать их можно будет повсюду — от смартфонов до самолётов. Микросхемы нового поколения станут настолько крохотными, что их будет невозможно разглядеть невооружённым глазом. Сверхточный, но экономичный в аспекте материальных затрат процесс открывает перспективу крупномасштабного производства. «У компаний есть планы развития, которые они хотят реализовать лет через 10–20 и далее. Одним из препятствий был поиск процесса создания более мелких структурных элементов на производственной линии, где материалы быстро и с абсолютной точностью подвергаются облучению, чтобы сделать процесс экономически эффективным», — рассказал профессор химического машиностроения и биомолекулярной инженерии Майкл Цапацис (Michael Tsapatsis).

Необходимые для печати таких миниатюрных схем лазеры уже существуют, пояснил учёный, — проблема была в том, чтобы найти материалы и технологические процессы для их обработки при крохотных размерах. Микрочипы представляют собой кремниевые пластины, на которых вытравлены схемы для выполнения основных функций. При производстве пластина покрывается чувствительным к свету материалом — резистом. Попадая на резист, луч вызывает химическую реакцию и вытравливает на пластине узоры, образующие схемы. Традиционные резисты не выдерживают воздействия мощных пучков света, необходимых для создания мельчайших структурных элементов.

Ранее учёные лаборатории профессора Цапациса и исследовательской группы профессора Ховарда Фэйрбразера (Howard Fairbrother) разработали резисты из металлорганических соединений, способных выдерживать «запредельное сверхжёсткое ультрафиолетовое излучение» (Beyond Extreme Ultraviolet Radiation — B-EUV). Металлы, например, цинк, поглощают излучение B-EUV и выбрасывают электроны, которые запускают химические реакции в органическом компоненте — имидазоле. Авторам проекта одним из первых удалось добиться успешного осаждения металлорганических резистов на основе имидазола на кремниевую пластину, контролируя толщину его слоя с нанометровой точностью. Для создания этих резистов учёные воспользовались наработками коллег из Восточнокитайского технологического университета, Федеральной политехнической школы Лозанны (EPFL, Швейцария), Сучжоуского университета (Китай), Брукхейвенской национальной лаборатории (США) и Национальной лаборатории Лоуренса в Беркли (США).

Исследователи Университета Джонса Хопкинса предложили методологию химического жидкостного осаждения, которая позволяет с высокой точностью проектировать и оперативно тестировать различные комбинации металлов с имидазолом. Варьируя их, можно влиять на эффективность поглощения света и химию последующих реакций, что открывает возможности для создания новых металлорганических пар, пояснил профессор Цапацис, — в этой химии можно использовать минимум десять металлов и несколько сотен органических соединений. Учёные прицельно испытывают эти комбинации на излучении B-EUV, которое планируют развёртывать на полупроводниковом производстве в следующем десятилетии.

«Поскольку разные длины волн по-разному воздействуют на разные элементы, металл, который проигрывает на одной длине волны, может выйти победителем на другой. Цинк не очень хорош в сверхжёстком ультрафиолетовом излучении (EUV), но он один из лучших в B-EUV», — заключил профессор Майкл Цапацис.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Новая статья: Hades II — титан вне времени. Рецензия 58 мин.
«Делаем всё, чтобы каждый покупатель игры был в восторге»: амбициозная песочница с тотальными разрушениями Kingmakers не выйдет 8 октября 2 ч.
ИИ-браузер Comet заставили воровать письма из Gmail и другие данные — в Perplexity только отмахнулась 4 ч.
Геймерскую мышь превратили в шпионский микрофон для прослушки пользователей 4 ч.
Облачный игровой сервис Xbox Cloud Gaming скоро станет бесплатным, но есть нюанс 6 ч.
Слухи: ремейк культовой Halo: Combat Evolved создаётся на гибридном движке при участии студии в ответе за The Elder Scrolls IV: Oblivion Remastered 6 ч.
Microsoft устранила ещё два препятствия, мешавших обновиться до Windows 11 25H2 7 ч.
Google объяснила, как Android будет блокировать приложения от непроверенных разработчиков — и как это обойти 7 ч.
Microsoft предсказала биологические угрозы «нулевого дня» из-за ИИ 7 ч.
Обнаружена уязвимость, которая ставит под угрозу пользователей всех игр на Unity с 2017 года 8 ч.
В южнокорейском Тэджоне загорелся уже второй ЦОД за неделю, сразу после инспекции пожарных — виноватым снова назначили ИБП 23 мин.
Google начала продавать запчасти для Pixel 10 и показала, как их ремонтировать 56 мин.
В Китае собрали крупнейший в мире плавучий ветрогенератор — его ротор охватывает площадь семи футбольных полей 5 ч.
Samsung представит гарнитуру смешанной реальности на Android XR уже в этом месяце 5 ч.
Thermal Grizzly представила эффективные термопрокладки Minus Pad extreme 2 и очень пластичные Minus Pad High Compression 6 ч.
Kodak впервые за годы выпустила новые плёнки Kodacolor — и сама займётся их продажей 6 ч.
До 2,8 МВт за 45 с: Rolls-Royce представила газовый генератор mtu 20V4000 L64 для дата-центров 8 ч.
UKPN начнёт отапливать дома британских малоимущих кластерами из сотен Raspberry Pi 8 ч.
В лучших ИИ-ускорителях Huawei нашли чипы TSMC, Samsung и SK hynix, которых в Китае быть не должно 9 ч.
Задержки поставок ИИ-чипов в ОАЭ на десятки миллиардов долларов расстраивают NVIDIA 10 ч.