Сегодня 22 апреля 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Imec и ASML продолжат вместе разрабатывать оборудование для выпуска чипов по тончайшим техпроцессам

Бельгийский центр исследований Imec и нидерландская компания ASML подписали меморандум о взаимопонимании для поддержки исследований в области полупроводников и устойчивых инноваций в Европе. Подписание запускает вторую фазу совместной работы этих организаций по разработке оборудования и техпроцессов выпуска чипов с нормами менее 10 нм — до нанометра и менее, что найдёт применение на всех передовых заводах мира.

Так или иначе Imec и ASML участвуют в совместных полупроводниковых проектах свыше 40 лет. В 2018 году они договорились сделать литографические сканеры ещё лучше, чтобы позволить массово выпускать чипы с нормами менее 10 нм. Для этого ASML поставила для экспериментальной линии Imec самый передовой на тот момент сканер NXE:3400B со значением числовой апертуры (NA) 0,33 и запланировала поставку ещё более совершенного сканера EXE:5000 с NA 0,55.

На опытной линии Imec и ASML отрабатывали тонкости производства чипов и работали над усовершенствованием сканеров и оборудования для тестирования, а также испытывали различные составы фоторезиста, методы изготовления фотошаблонов и проводили другие исследования, которые помогли бы в освоении всё более тонких техпроцессов.

Новый договор позволит ещё дальше пойти по этому пути. Теперь ASML отправит для установки на опытную линию Imec ещё более новый сканер — EXE:5200 со значением числовой апертуры 0,55. Кроме этого оборудования в Imec будут отправлены последние модели NXE:3800 с 0,33 NA EUV, иммерсионный сканер DUV (TWINSCAN NXT:2100i), станция оптической метрологии Yieldstar и многолучевой HMI.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
SolarWinds Corporation перешла в частную собственность — сделка по её покупке завершена 21 мин.
Конференция OS DAY 2025 «Изолированные среды исполнения в современных ОС» 2 ч.
Google против разделения: это ударит по потребителям и навредит США в «глобальной гонке с Китаем» 3 ч.
Ночью в России произошёл сбой в работе Telegram и WhatsApp 4 ч.
Туманные перспективы: игроков начали приглашать на «бету» Silent Hill f, но это обман 5 ч.
Dr.Web отмечает 33 года: скидка 20 % на Dr.Web Security Space в честь дня рождения легендарного антивируса 5 ч.
Nvidia устранила некоторые критические проблемы видеокарт GeForce с помощью экстренного обновления драйвера 14 ч.
Исследование Honor: люди всё чаще прибегают к помощи ИИ, но скрывают это 15 ч.
В Steam начался фестиваль передвижения ящиков — со скидками на головоломки, в которых игрок является «главной движущей силой» 16 ч.
Московский суд оштрафовал Telegram на 4 млн рублей за неудаление запрещённой информации 16 ч.