Литографические сканеры являются далеко не единственным видом оборудования, необходимого для выпуска полупроводниковых компонентов. Если передовые технологии типа EUV пока не поддаются китайским инженерам, то более доступные технологические операции при производстве чипов всё чаще выполняются на оборудовании местной разработки. В прошлом году доля последнего в Китае выросла до 35 %, опередив план.
Источник изображения: AMEC
Как отмечает TrendForce со ссылкой на китайские СМИ, первоначально власти Китая ставили перед производителями чипов задачу довести долю отечественного оборудования при производстве чипов в стране до 30 % по итогам 2025 года, но фактические показатели превысили этот уровень сразу на пять процентных пунктов. Ещё в 2024 году данный уровень не превышал 25 %.
В сегменте оборудования для травления кремниевых пластин и нанесения тонкоплёночных покрытий доля китайских изделий уже превышает 40 %. Более того, образец оборудования для травления пластин с 5-нм чипами уже проходит валидацию на одной из производственных линий тайваньской TSMC, которая является мировым лидером в области контрактного производства чипов.
Технологические печи Naura формируют более 60 % профильного оборудования, задействованного китайской SMIC при производстве 28-нм чипов. На линиях YMTC по производству памяти типа 3D NAND доля оборудования Piotech для нанесения химических покрытий методом осаждения испарений с использованием плазмы выросла в два раза с 15 до 30 %. Оборудование для очистки кремниевых пластин ACM Research на производственных линиях Hua Hong по выпуску 28-нм продукции сейчас загружено более чем на 90 %.
К сожалению, в области контрольно-измерительных машин и литографических сканеров степень импортозамещения в китайской полупроводниковой промышленности пока не превышает 25 и 18 % соответственно. С другой стороны, в 2022 году эти показатели не превышали 10 и 6 %, поэтому можно говорить о наличии приличного прогресса.
Спрос на китайское оборудование для производства чипов за год вырос на 80 % в денежном выражении, та же Naura обеспечена заказами на его поставку вплоть до первого квартала следующего года. Китайские власти теперь требуют, чтобы все вновь вводимые линии по производству чипов оснащались местным оборудованием как минимум на 50 %. Данное требование даже ограничило темпы расширения производств, поскольку китайского оборудования на всех не хватает. Закупка отечественного оборудования в Китае субсидируется властями, по такой схеме в прошлом году был оформлен 421 заказ на общую сумму $122 млн.
Источник:


MWC 2018
2018
Computex
IFA 2018






