Сегодня 05 декабря 2023
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
Новости Hardware

Для выпуска 2-нм чипов в условиях санкций Китай построит 150-метровую синхротронную EUV-пушку

В условиях запрета на поставку в Китай EUV-сканеров компании ASML, китайским производителям придётся создавать собственные инструменты для литографии в сверхжёстком ультрафиолете для выпуска самых передовых чипов. Поскольку Китай в этом заметно отстаёт, он может выбрать другой путь для достижения цели и, в конечном итоге, может даже превзойти западные технологии. Этим путём обещают стать синхротронные источники света, мощность которых превзойдёт возможности плазменных лазеров ASML.

 Электроны из накопительного кольца возбуждают лазерное излучение в сверхжёстком ультрафиолете. Источник изображения: Tsinghua University

Электроны из накопительного кольца возбуждают лазерное излучение в сверхжёстком ультрафиолете. Источник: Tsinghua University

Синхротронные источники света — это обычно кольцевые ускорители электронов. Кольцо служит накопителем электронов, которые для формирования стабильного пучка сверхжёсткого ультрафиолетового излучения выводятся из него через специальную установку, в которой возникает когерентное излучение на длине волны лазера (плюс гармоники). В сканерах ASML излучение возникает из возникающей в процессе испарения капли олова плазмы. Очевидно, что во втором случае можно создать компактную литографическую машину, а при использовании синхротрона придётся строить фактически завод.

По оценкам китайских источников, для формирования EUV-излучения мощностью около 1 кВт потребуется создать накопительное кольцо диаметром от 100 до 150 м (не говоря о вспомогательных установках и строениях). Этой мощности хватит для производства чипов с технологическими нормами до 2 нм. Компания ASML сейчас массово производит передовые литографические EUV-сканеры мощностью до 500 Вт, что обеспечивает выпуск 3-нм чипов. Перед ней также стоит задача разработки более мощных источников EUV-света, которая по сложности не так уж далеко от китайских проектов EUV-«пушки».

Для обычной коммерческой компании, такой, как ASML, проект синхротрона как источника EUV-света неприемлем. Он тянет за собой большие затраты на создание объёмной инфраструктуры. В США, кстати, в лаборатории SLAC изучали возможность использования синхротронов для полупроводниковой литографии, но признали его неперспективным. В Китае же, где ресурсов и рабочей силы в избытке, построить завод с ускорительной установкой особого труда не составит. Если верить источникам, место для EUV-«пушки» уже подобрано. Её начнут строить в Сюньгане.

За последние два года вышло немало статей на тему создания стабильных микропучков для производства EUV-излучения (steady-state microbunching, SSMB). Большинство работ принадлежит китайским авторам. Также в Китае прошли тематические конференции на эту тему. Понятно, что для создания законченной инфраструктуры по производству чипов с использованием EUV-излучения потребуется намного больше усилий, чем постройка синхротрона. Прежде всего, это научная работа на многие годы вперёд. Китай показывает решимость пройти этот путь, а это дорого стоит.

Россия, кстати, тоже может пойти по этому пути. В ближайшие годы в стране начнут строить достаточно много синхротронов для решения целого спектра задач от материаловедения до фармацевтики. Из одного из них вполне может родиться проект фабрики по выпуску чипов с использованием синхротронных ускорителей.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме
window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Северокорейские хакеры за шесть лет украли $3 млрд в криптовалюте 5 мин.
Telegram оштрафовали на 4 млн руб. за неисполнение предписания Роскомнадзора 41 мин.
YouTube тестирует счётчики просмотров и лайков с обновлениями в реальном времени 2 ч.
Facebook отключил PGP-шифрование электронной почты — оно никому не было нужно 2 ч.
Cyberpunk 2077 получила последний крупный патч — в версии 2.1 добавили метро, новые секреты и свидания с романтическими партнёрами 3 ч.
NVIDIA починила V-Sync и стриминг в Discord с помощью драйвера GeForce Hotfix Driver Version 546.31 3 ч.
Обновление Windows у некоторых переименовало любые принтеры в HP LaserJet M101-M106 — даже виртуальные 3 ч.
В шутере Halo Infinite появился классический режим с захватом точек Firefight: King of the Hill 4 ч.
Microsoft выпустила приложение Seeing AI для Android — ИИ поможет пользователям со слабым зрением 4 ч.
Разработчики Payday 3 анонсировали кооперативный экшен по Dungeons & Dragons — первые подробности Project Baxter 5 ч.
Apple пригрозила властям Индии сократит производство из-за закона о едином зарядном разъёме 43 мин.
Huawei снова ударила по санкциям: представлен 5-нм процессор Kirin 9006C и ноутбуки на его основе 2 ч.
Nothing что-то анонсирует на этой неделе — скорее всего, это будет смартфон Phone (2a) 2 ч.
ASUS выпустила GeForce RTX 4070 Turbo с «турбиной» 2 ч.
Представлен смартфон OnePlus 12 со сверхъярким экраном, до 24 Гбайт оперативной памяти и Snapdragon 8 Gen 3 3 ч.
Pure Storage: рост спроса на GPU-серверы спровоцирует вытеснение HDD 4 ч.
Астрономы сообщили об открытии сотен мёртвых звёзд, пульсирующих гамма-излучением 4 ч.
Китай выпустил правила для беспилотного автотранспорта — ему запретили выезжать на дороги без страхующего водителя 4 ч.
Учёные скрестили мемристор и память с фазовым переходом — получилась память быстрее и лучше, чем флеш 4 ч.
Intel отделалась от штрафа в $2,18 млрд за нарушение патентов VLSI, но судебная эпопея ещё не закончена 6 ч.