Сегодня 21 августа 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Imec за один проход создала рекордно малые полупроводниковые структуры с помощью High-NA EUV

Не только компания Intel активно приобретает у ASML литографические системы с высоким значением числовой апертуры (High-NA EUV). Один из первых сканеров такого класса расположился в лаборатории ASML и Imec в Нидерландах, и недавно последняя смогла изготовить тестовые чипы с рекордно малыми размерами элементов за один проход, доказав эффективность оборудования класса High-NA EUV.

 Источник изображения: Imec

Источник изображения: Imec

Используя литографическую систему Twinscan EXE:5000 и подготовленную для неё партнёрами оснастку с новыми материалами, Imec изготовила несколько тестовых полупроводниковых структур, обладающих рекордно малыми размерами. В частности, образец логического компонента с металлизированными слоями продемонстрировал размеры элементов не более 9,5 нм с шагом между ними 19 нм, а расстояние по вершинам не превысило 30 нм. Специалистам Imec удалось за один проход создать образец чипа со сквозными отверстиями, расположенными на расстоянии 30 нм друг от друга. Массив отверстий получился регулярным, сами они имели однородную форму и размеры. В рамках экспериментов по созданию длинных двумерных элементов удалось выдержать расстояние между ними не более 22 нм.

Были созданы и структуры, повторяющие ячейки памяти. Это особенно важно с учётом интереса к оборудованию класса High-NA EUV со стороны крупных производителей памяти в лице Samsung, SK hynix и Micron. Если Intel до конца этого года получит уже второй литографический сканер с высоким значением числовой апертуры (0,55), то TSMC рассчитывает получить только первый, причём использовать подобное оборудование в массовом производстве она рассчитывает начать не ранее 2028 года, когда освоит техпроцесс A14.

Imec особо подчёркивает, что успех экспериментов с данным типом оборудования ASML открывает дорогу клиентам компании к началу проектирования продукции, при производстве которой оно будет использоваться. Соответственно, поставщики оснастки и расходных материалов тоже учтут данный опыт в расширении ассортимента своей продукции. Переход на новый класс литографического оборудования сократит количество проходов при экспозиции фотомасок, повысив производительность линий по выпуску чипов. Проблемой пока остаётся только высокая стоимость таких сканеров, поскольку один стоит около 350 млн евро.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Microsoft придумала, как ускорить загрузку в играх до 10 раз — разработан новый метод компиляции шейдеров 38 мин.
Paradox объяснила, почему за два из шести кланов на релизе Vampire: The Masquerade — Bloodlines 2 придётся платить 2 ч.
Microsoft отключила китайским компаниям оповещения об уязвимостях в ПО 2 ч.
Разработчики Subnautica 2 подали в суд на бывших руководителей — в том числе за кражу 172 тысяч конфиденциальных файлов 3 ч.
«Катастрофа»: Elden Ring на Nintendo Switch 2 шокировала журналистов ужасной производительностью 4 ч.
Олдскульный хоррор на выживание Tormented Souls 2 в антураже чилийской глубинки обзавёлся датой релиза 4 ч.
В Steam стартовало открытое тестирование Militsioner — сюрреалистической игры о побеге от милиционера-великана 5 ч.
ИИ-помощник Google Gemini Live научился видеть мир через камеру смартфона — точно и без задержек 5 ч.
Национальный мессенджер Max обяжут предустанавливать на все новые смартфоны в России с 1 сентября 6 ч.
«Google Фото» научились редактировать фото по голосовым и текстовым командам 6 ч.
Kioxia разогнала флеш-память до 64 Гбайт/с в прототипе SSD будущего 26 мин.
В России стартовали продажи смартфона Poco M7 с батареей на 7000 мА·ч по цене от 13,5 тыс. рублей 2 ч.
Состоялся пятый успешный запуск лёгкой ракеты-носителя «Ангара-1.2» 2 ч.
Xiaomi скатилась на девятое место среди крупнейших производителей электромобилей в мире 2 ч.
Доступность колокейшн-ЦОД в Северной Америке установила антирекорд — 2,3 % 3 ч.
В США создали роботов-геодезистов — они разметят участок в любую погоду без перерывов на обед 3 ч.
Автопилот оказался бесполезен в городе: его приходится подстраховывать каждые 9 минут 3 ч.
В России стало больше интернет-провайдеров после массовых сбоев мобильного интернета 4 ч.
Робопёс с крошечным человеческим мозгом научился избегать препятствий 4 ч.
Google наконец построит ЦОД в Австрии — через 17 лет после покупки земли 4 ч.