Сегодня 29 мая 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Imec за один проход создала рекордно малые полупроводниковые структуры с помощью High-NA EUV

Не только компания Intel активно приобретает у ASML литографические системы с высоким значением числовой апертуры (High-NA EUV). Один из первых сканеров такого класса расположился в лаборатории ASML и Imec в Нидерландах, и недавно последняя смогла изготовить тестовые чипы с рекордно малыми размерами элементов за один проход, доказав эффективность оборудования класса High-NA EUV.

 Источник изображения: Imec

Источник изображения: Imec

Используя литографическую систему Twinscan EXE:5000 и подготовленную для неё партнёрами оснастку с новыми материалами, Imec изготовила несколько тестовых полупроводниковых структур, обладающих рекордно малыми размерами. В частности, образец логического компонента с металлизированными слоями продемонстрировал размеры элементов не более 9,5 нм с шагом между ними 19 нм, а расстояние по вершинам не превысило 30 нм. Специалистам Imec удалось за один проход создать образец чипа со сквозными отверстиями, расположенными на расстоянии 30 нм друг от друга. Массив отверстий получился регулярным, сами они имели однородную форму и размеры. В рамках экспериментов по созданию длинных двумерных элементов удалось выдержать расстояние между ними не более 22 нм.

Были созданы и структуры, повторяющие ячейки памяти. Это особенно важно с учётом интереса к оборудованию класса High-NA EUV со стороны крупных производителей памяти в лице Samsung, SK hynix и Micron. Если Intel до конца этого года получит уже второй литографический сканер с высоким значением числовой апертуры (0,55), то TSMC рассчитывает получить только первый, причём использовать подобное оборудование в массовом производстве она рассчитывает начать не ранее 2028 года, когда освоит техпроцесс A14.

Imec особо подчёркивает, что успех экспериментов с данным типом оборудования ASML открывает дорогу клиентам компании к началу проектирования продукции, при производстве которой оно будет использоваться. Соответственно, поставщики оснастки и расходных материалов тоже учтут данный опыт в расширении ассортимента своей продукции. Переход на новый класс литографического оборудования сократит количество проходов при экспозиции фотомасок, повысив производительность линий по выпуску чипов. Проблемой пока остаётся только высокая стоимость таких сканеров, поскольку один стоит около 350 млн евро.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
«Базис» представляет программно-определяемую систему хранения данных Basis SDS 2.0 37 мин.
«Призовите силу альтернативного метала начала 2000-х»: новый трейлер Elden Ring Nightreign зарядил фанатов ностальгией 58 мин.
Илон Маск ушёл из DOGE и плотнее займётся проблемами Tesla, X и xAI 2 ч.
Ежемесячная аудитория ИИ-бота Meta AI превысила 1 млрд человек, похвастался Цукерберг 2 ч.
Salesforce приобрела за $8 млрд Informatica ради улучшения платформы ИИ-агентов Agentforce 2 ч.
«Базис» представляет Basis Workplace 3.0: новое поколение платформы виртуализации рабочих мест 2 ч.
Создатели новой Painkiller пригласили игроков на техническое тестирование в Steam — доступный контент и системные требования 3 ч.
Маск опроверг заявление Дурова о сделке по интеграции Grok в Telegram, но история ещё не окончена 3 ч.
«Базис» представляет Basis SDN — первое полностью российское решение для управления программно-определяемыми сетями 4 ч.
Instagram стал быстро разряжать Android-смартфоны, но Meta уже всё починила 4 ч.
Перегрев, протечки и нестабильность затормозили массовый выпуск NVIDIA GB200 NVL72, но теперь все проблемы решены 19 мин.
Samsung до сих пор выбрасывает половину выпускаемых 3-нм чипов 33 мин.
NASA спасло межпланетную станцию «Психея», переключив на запасную топливную магистраль в двигателях 2 ч.
После ухода из политики Маск пообещал запустить беспилотное такси Tesla в Техасе раньше сроков 2 ч.
Новая статья: Обзор смартфона realme 14 5G: мощность на каждый день 2 ч.
Федеральный суд США признал незаконными и заблокировал большинство трамповских пошлин 3 ч.
Дебютировали российские серверы «Аквариус» AQserv RS на базе Intel Xeon Emerald Rapids 3 ч.
Илон Маск пытался сорвать создание мощнейших ИИ-суперкомпьютеров OpenAI на Ближнем Востоке 3 ч.
Количество роботов на российских предприятиях планируется увеличить впятеро к 2030 году 3 ч.
AAEON выпустила одноплатные компьютеры UP Squared TWL / Pro TWL на базе Intel Twin Lake 4 ч.