Сегодня 02 октября 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Imec за один проход создала рекордно малые полупроводниковые структуры с помощью High-NA EUV

Не только компания Intel активно приобретает у ASML литографические системы с высоким значением числовой апертуры (High-NA EUV). Один из первых сканеров такого класса расположился в лаборатории ASML и Imec в Нидерландах, и недавно последняя смогла изготовить тестовые чипы с рекордно малыми размерами элементов за один проход, доказав эффективность оборудования класса High-NA EUV.

 Источник изображения: Imec

Источник изображения: Imec

Используя литографическую систему Twinscan EXE:5000 и подготовленную для неё партнёрами оснастку с новыми материалами, Imec изготовила несколько тестовых полупроводниковых структур, обладающих рекордно малыми размерами. В частности, образец логического компонента с металлизированными слоями продемонстрировал размеры элементов не более 9,5 нм с шагом между ними 19 нм, а расстояние по вершинам не превысило 30 нм. Специалистам Imec удалось за один проход создать образец чипа со сквозными отверстиями, расположенными на расстоянии 30 нм друг от друга. Массив отверстий получился регулярным, сами они имели однородную форму и размеры. В рамках экспериментов по созданию длинных двумерных элементов удалось выдержать расстояние между ними не более 22 нм.

Были созданы и структуры, повторяющие ячейки памяти. Это особенно важно с учётом интереса к оборудованию класса High-NA EUV со стороны крупных производителей памяти в лице Samsung, SK hynix и Micron. Если Intel до конца этого года получит уже второй литографический сканер с высоким значением числовой апертуры (0,55), то TSMC рассчитывает получить только первый, причём использовать подобное оборудование в массовом производстве она рассчитывает начать не ранее 2028 года, когда освоит техпроцесс A14.

Imec особо подчёркивает, что успех экспериментов с данным типом оборудования ASML открывает дорогу клиентам компании к началу проектирования продукции, при производстве которой оно будет использоваться. Соответственно, поставщики оснастки и расходных материалов тоже учтут данный опыт в расширении ассортимента своей продукции. Переход на новый класс литографического оборудования сократит количество проходов при экспозиции фотомасок, повысив производительность линий по выпуску чипов. Проблемой пока остаётся только высокая стоимость таких сканеров, поскольку один стоит около 350 млн евро.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
В Steam и VK Play стартовала открытая «альфа» Ncore — футуристического шутера про гладиаторов далёкого будущего на мультиарене 14 мин.
Нелинейная партийная RPG Starfinder: Afterlight отправит в галактику, где соединились магия и технологии — новый геймплейный трейлер 2 ч.
Facebook и Instagram обязали вернуть хронологические ленты в качестве стандартных, но только в Нидерландах 2 ч.
Музыкальные лейблы будут лицензировать контент разработчикам для «этичного» обучения ИИ 2 ч.
Starbreeze отменила кооперативный экшен по Dungeons & Dragons ради Payday — «одной из самых знаковых франшиз в игровой индустрии» 3 ч.
Затраты — выше, безопасность — ниже: Google снова посетовала на заградительное лицензирование Microsoft 3 ч.
YouTube тестирует новый интерфейс мобильного приложения — реакция пользователей ожидаемо негативная 4 ч.
Суд США разрешил прокуратуре взломать Telegram, но у неё не получилось 6 ч.
Павел Дуров открыл в Казахстане лабораторию ИИ и пообещал новые проекты 6 ч.
ГК Softline приобрела контрольную долю в BeringPro, чтобы усилить консалтинговое направление 6 ч.
Почти все новые iPhone разошлись лучше ожиданий — только одна модель не снискала популярности 23 мин.
HP представила 49-дюймовый офисный монитор Series 5 Pro с выдвижной веб-камерой и геймерскими характеристиками 30 мин.
Японцы научили ИИ видеть сквозь стены при помощи Wi-Fi 33 мин.
iPhone 17 Pro обвесили кулерами для SSD — и он выдержал стресс-тест почти без тротлинга 2 ч.
Продажи Tesla рванули до исторического рекорда, но впереди — резкий спад 2 ч.
Adata выпустила «неубиваемые» внешние SSD SD820 и SC735 — до 2000 Мбайт/с и до 4 Тбайт 3 ч.
Дата-центр радиотелескопа Square Kilometre Array (SKA) «засадили» сразу в две клетки Фарадея для защиты сверхчувствительных антенн от радиопомех 4 ч.
В Гарварде создали систему для «вечной» работы квантового компьютера 5 ч.
$1,5 млрд за неделю: Nscale получила ещё $443 млн инвестиций, едва закрыв прошлый раунд финансирования на $1,1 млрд 5 ч.
Meta приобрела Rivos, разработчика RISC-V-ускорителей, совместимых с CUDA 7 ч.