Сегодня 08 ноября 2024
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Imec за один проход создала рекордно малые полупроводниковые структуры с помощью High-NA EUV

Не только компания Intel активно приобретает у ASML литографические системы с высоким значением числовой апертуры (High-NA EUV). Один из первых сканеров такого класса расположился в лаборатории ASML и Imec в Нидерландах, и недавно последняя смогла изготовить тестовые чипы с рекордно малыми размерами элементов за один проход, доказав эффективность оборудования класса High-NA EUV.

 Источник изображения: Imec

Источник изображения: Imec

Используя литографическую систему Twinscan EXE:5000 и подготовленную для неё партнёрами оснастку с новыми материалами, Imec изготовила несколько тестовых полупроводниковых структур, обладающих рекордно малыми размерами. В частности, образец логического компонента с металлизированными слоями продемонстрировал размеры элементов не более 9,5 нм с шагом между ними 19 нм, а расстояние по вершинам не превысило 30 нм. Специалистам Imec удалось за один проход создать образец чипа со сквозными отверстиями, расположенными на расстоянии 30 нм друг от друга. Массив отверстий получился регулярным, сами они имели однородную форму и размеры. В рамках экспериментов по созданию длинных двумерных элементов удалось выдержать расстояние между ними не более 22 нм.

Были созданы и структуры, повторяющие ячейки памяти. Это особенно важно с учётом интереса к оборудованию класса High-NA EUV со стороны крупных производителей памяти в лице Samsung, SK hynix и Micron. Если Intel до конца этого года получит уже второй литографический сканер с высоким значением числовой апертуры (0,55), то TSMC рассчитывает получить только первый, причём использовать подобное оборудование в массовом производстве она рассчитывает начать не ранее 2028 года, когда освоит техпроцесс A14.

Imec особо подчёркивает, что успех экспериментов с данным типом оборудования ASML открывает дорогу клиентам компании к началу проектирования продукции, при производстве которой оно будет использоваться. Соответственно, поставщики оснастки и расходных материалов тоже учтут данный опыт в расширении ассортимента своей продукции. Переход на новый класс литографического оборудования сократит количество проходов при экспозиции фотомасок, повысив производительность линий по выпуску чипов. Проблемой пока остаётся только высокая стоимость таких сканеров, поскольку один стоит около 350 млн евро.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Затяжное пике Warner Bros. Games продолжается — MultiVersus не смогла, но у руководства есть план 2 ч.
Путин считает необходимым развивать в России суверенный искусственный интеллект 2 ч.
Amazon запустила в производство сериал по Mass Effect, а BioWare добавила в Dragon Age: The Veilguard броню в честь дня N7 13 ч.
«Аркейн» с большим отрывом стал самым дорогим анимационным сериалом в истории 14 ч.
Nvidia ограничит ежемесячное игровое время в облачном сервисе GeForce Now — за дополнительные часы придётся платить 15 ч.
Олдскульная стимпанковая ролевая игра New Arc Line выйдет уже скоро, но не полностью — дата релиза и анонс раннего доступа 16 ч.
Успехи GTA V и скрытая польза «Бордерлендс»: Take-Two Interactive отчиталась о результатах во втором квартале 17 ч.
Не прошло и пяти лет: режиссёрская версия Death Stranding неожиданно вышла на Xbox, а Kojima Productions завладела правами на франшизу 19 ч.
ИИ-функции в Microsoft Office станут бесплатными для подписчиков Microsoft 365 19 ч.
Роскомнадзор порекомендовал владельцам сайтов отказаться от CDN-сервиса CloudFlare 20 ч.