Сегодня 22 января 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Imec за один проход создала рекордно малые полупроводниковые структуры с помощью High-NA EUV

Не только компания Intel активно приобретает у ASML литографические системы с высоким значением числовой апертуры (High-NA EUV). Один из первых сканеров такого класса расположился в лаборатории ASML и Imec в Нидерландах, и недавно последняя смогла изготовить тестовые чипы с рекордно малыми размерами элементов за один проход, доказав эффективность оборудования класса High-NA EUV.

 Источник изображения: Imec

Источник изображения: Imec

Используя литографическую систему Twinscan EXE:5000 и подготовленную для неё партнёрами оснастку с новыми материалами, Imec изготовила несколько тестовых полупроводниковых структур, обладающих рекордно малыми размерами. В частности, образец логического компонента с металлизированными слоями продемонстрировал размеры элементов не более 9,5 нм с шагом между ними 19 нм, а расстояние по вершинам не превысило 30 нм. Специалистам Imec удалось за один проход создать образец чипа со сквозными отверстиями, расположенными на расстоянии 30 нм друг от друга. Массив отверстий получился регулярным, сами они имели однородную форму и размеры. В рамках экспериментов по созданию длинных двумерных элементов удалось выдержать расстояние между ними не более 22 нм.

Были созданы и структуры, повторяющие ячейки памяти. Это особенно важно с учётом интереса к оборудованию класса High-NA EUV со стороны крупных производителей памяти в лице Samsung, SK hynix и Micron. Если Intel до конца этого года получит уже второй литографический сканер с высоким значением числовой апертуры (0,55), то TSMC рассчитывает получить только первый, причём использовать подобное оборудование в массовом производстве она рассчитывает начать не ранее 2028 года, когда освоит техпроцесс A14.

Imec особо подчёркивает, что успех экспериментов с данным типом оборудования ASML открывает дорогу клиентам компании к началу проектирования продукции, при производстве которой оно будет использоваться. Соответственно, поставщики оснастки и расходных материалов тоже учтут данный опыт в расширении ассортимента своей продукции. Переход на новый класс литографического оборудования сократит количество проходов при экспозиции фотомасок, повысив производительность линий по выпуску чипов. Проблемой пока остаётся только высокая стоимость таких сканеров, поскольку один стоит около 350 млн евро.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Windows 11 получила мелкое, но очень полезное обновление индикатора батареи ноутбука 6 ч.
Хардкорный режим, скачки и три сюжетных дополнения: Warhorse рассказала, как будет поддерживать Kingdom Come: Deliverance 2 после релиза 6 ч.
HPE проводит расследование в связи с заявлением хакеров о взломе её систем 6 ч.
«Мы создали CRPG нашей мечты»: продажи Warhammer 40,000: Rogue Trader превысили миллион копий 7 ч.
Создатели Lineage и Guild Wars отменили MMORPG во вселенной Horizon Zero Dawn и Horizon Forbidden West 7 ч.
Instagram начал переманивать блогеров из TikTok денежными бонусами до $50 тысяч в месяц 8 ч.
Eternal Strands, Starbound, Far Cry New Dawn и ещё шесть игр: Microsoft рассказала о ближайших новинках Game Pass 9 ч.
ИИ превзойдёт человеческий разум в течение двух-трёх лет, уверен глава Anthropic 10 ч.
Keep Driving вышла на финишную прямую — новый трейлер и дата релиза ностальгической RPG о путешествии по стране на своей первой машине 10 ч.
Google стала на шаг ближе к ИИ, который думает как человек — представлена архитектура Titans 12 ч.
GeForce RTX 5000 Kingpin не будет — легендарный оверклокер рассказал о планах на будущее, в которых есть место не только Nvidia 4 ч.
Слухи: OpenAI, Oracle и Softbank вложат $100 млрд в ИИ-инфраструктуру США, а в перспективе — до $500 млрд 4 ч.
Новая статья: Обзор смартфона OPPO Find X8: очень удобный флагман 5 ч.
К мемкоинам приведут настоящих инвесторов — поданы заявки на крипто-ETF в Dogecoin и TRUMP 5 ч.
Fujifilm представила гибридную камеру мгновенной печати Instax Wide Evo с широкоугольным объективом 9 ч.
Новый Apple iPhone SE получит вырез Dynamic Island вместо чёлки 11 ч.
К 2035 году США смогут получать до 84 ГВт из источников возобновляемой энергии на федеральных землях 11 ч.
Maxsun выпустила новые видеокарты на чипах Nvidia Kepler десятилетней давности 11 ч.
«Транснефть» направила повторный иск к Cisco на 56 млн рублей 12 ч.
Sparkle представила видеокарту Arc B580 Titan Luna с белой печатной платой и подпоркой 12 ч.