Сегодня 22 июля 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Imec за один проход создала рекордно малые полупроводниковые структуры с помощью High-NA EUV

Не только компания Intel активно приобретает у ASML литографические системы с высоким значением числовой апертуры (High-NA EUV). Один из первых сканеров такого класса расположился в лаборатории ASML и Imec в Нидерландах, и недавно последняя смогла изготовить тестовые чипы с рекордно малыми размерами элементов за один проход, доказав эффективность оборудования класса High-NA EUV.

 Источник изображения: Imec

Источник изображения: Imec

Используя литографическую систему Twinscan EXE:5000 и подготовленную для неё партнёрами оснастку с новыми материалами, Imec изготовила несколько тестовых полупроводниковых структур, обладающих рекордно малыми размерами. В частности, образец логического компонента с металлизированными слоями продемонстрировал размеры элементов не более 9,5 нм с шагом между ними 19 нм, а расстояние по вершинам не превысило 30 нм. Специалистам Imec удалось за один проход создать образец чипа со сквозными отверстиями, расположенными на расстоянии 30 нм друг от друга. Массив отверстий получился регулярным, сами они имели однородную форму и размеры. В рамках экспериментов по созданию длинных двумерных элементов удалось выдержать расстояние между ними не более 22 нм.

Были созданы и структуры, повторяющие ячейки памяти. Это особенно важно с учётом интереса к оборудованию класса High-NA EUV со стороны крупных производителей памяти в лице Samsung, SK hynix и Micron. Если Intel до конца этого года получит уже второй литографический сканер с высоким значением числовой апертуры (0,55), то TSMC рассчитывает получить только первый, причём использовать подобное оборудование в массовом производстве она рассчитывает начать не ранее 2028 года, когда освоит техпроцесс A14.

Imec особо подчёркивает, что успех экспериментов с данным типом оборудования ASML открывает дорогу клиентам компании к началу проектирования продукции, при производстве которой оно будет использоваться. Соответственно, поставщики оснастки и расходных материалов тоже учтут данный опыт в расширении ассортимента своей продукции. Переход на новый класс литографического оборудования сократит количество проходов при экспозиции фотомасок, повысив производительность линий по выпуску чипов. Проблемой пока остаётся только высокая стоимость таких сканеров, поскольку один стоит около 350 млн евро.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Сериал по Mass Effect в надёжных руках: производством шоу займётся команда «Фоллаут» 52 мин.
«Нейроаналитик» «Яндекса» ускорит анализ и визуализацию данных 3 ч.
«Т-Банк» выпустил ИИ-модель распознавания речи с открытым исходным кодом — T-one 3 ч.
Copilot+PC на чипах AMD и Intel наконец получили новые ИИ-функции — на три месяца позже, чем Snapdragon X 4 ч.
Electronic Arts анонсировала открытую «бету» Battlefield 6, а в приложении EA App засветились её подробности 5 ч.
Плохо прогнозируемый эффект от применения ИИ — один из основных барьеров, сдерживающих его использование в промышленности 5 ч.
ИИ-модель Google Gemini получила золотую медаль Международной математической олимпиады 6 ч.
OpenAI раскрыла масштабы популярности ChatGPT: каждый день бот получает 2,5 млрд запросов 15 ч.
Microsoft реализовала на ПК и консолях Xbox кроссплатформенную историю запущенных игр, но пока не для всех 16 ч.
Календарь релизов —21–27 июля: Killing Floor 3, Wuchang: Fallen Feathers и The King is Watching 16 ч.
«Яндекс» начал продажи умной колонки «Станции Мини 3 Про» с модульной конструкцией и ценой 12 тыс. рублей 31 мин.
AAEON выпустила индустриальный одноплатный компьютер PICO-TWL4 на базе Intel Twin Lake 2 ч.
Nokia попытается ещё раз вернуться на рынок смартфонов с новым производителем 2 ч.
«Это будет чертовски круто»: Джеймс Кэмерон пообещал решить проблемы 3D-кинематографа с помощью VR-гарнитур 2 ч.
Tesla отпраздновала выпуск 3 миллионов Model 3 — по одной машине каждые 90 секунд 2 ч.
В NASA рассказали, как спасли камеру зонда «Юнона» в окрестностях Юпитера 3 ч.
Китайская MG выпустит электромобиль за $11 000 с полутвердотельным аккумулятором и запасом хода 537 км 3 ч.
Kioxia представила первый в мире NVMe SSD вместимостью 245 Тбайт 3 ч.
Samsung укрепила дисплей Galaxy Z Fold7 — он выдержит в 2,5 раза больше складываний, чем Fold6 4 ч.
Kioxia представила самый ёмкий SSD в мире —  он может вместить 12 500 фильмов в 4K 4 ч.