Сегодня 17 сентября 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Imec за один проход создала рекордно малые полупроводниковые структуры с помощью High-NA EUV

Не только компания Intel активно приобретает у ASML литографические системы с высоким значением числовой апертуры (High-NA EUV). Один из первых сканеров такого класса расположился в лаборатории ASML и Imec в Нидерландах, и недавно последняя смогла изготовить тестовые чипы с рекордно малыми размерами элементов за один проход, доказав эффективность оборудования класса High-NA EUV.

 Источник изображения: Imec

Источник изображения: Imec

Используя литографическую систему Twinscan EXE:5000 и подготовленную для неё партнёрами оснастку с новыми материалами, Imec изготовила несколько тестовых полупроводниковых структур, обладающих рекордно малыми размерами. В частности, образец логического компонента с металлизированными слоями продемонстрировал размеры элементов не более 9,5 нм с шагом между ними 19 нм, а расстояние по вершинам не превысило 30 нм. Специалистам Imec удалось за один проход создать образец чипа со сквозными отверстиями, расположенными на расстоянии 30 нм друг от друга. Массив отверстий получился регулярным, сами они имели однородную форму и размеры. В рамках экспериментов по созданию длинных двумерных элементов удалось выдержать расстояние между ними не более 22 нм.

Были созданы и структуры, повторяющие ячейки памяти. Это особенно важно с учётом интереса к оборудованию класса High-NA EUV со стороны крупных производителей памяти в лице Samsung, SK hynix и Micron. Если Intel до конца этого года получит уже второй литографический сканер с высоким значением числовой апертуры (0,55), то TSMC рассчитывает получить только первый, причём использовать подобное оборудование в массовом производстве она рассчитывает начать не ранее 2028 года, когда освоит техпроцесс A14.

Imec особо подчёркивает, что успех экспериментов с данным типом оборудования ASML открывает дорогу клиентам компании к началу проектирования продукции, при производстве которой оно будет использоваться. Соответственно, поставщики оснастки и расходных материалов тоже учтут данный опыт в расширении ассортимента своей продукции. Переход на новый класс литографического оборудования сократит количество проходов при экспозиции фотомасок, повысив производительность линий по выпуску чипов. Проблемой пока остаётся только высокая стоимость таких сканеров, поскольку один стоит около 350 млн евро.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Даже авторы сценария The Wolf Among Us 2 не знают, что происходит с игрой 33 мин.
Nothing анонсировала OS 4.0 — интерфейс стал проще, а камера умнее 3 ч.
Paradox добавила возмутившие фанатов платные кланы в стандартное издание Vampire: The Masquerade — Bloodlines 2 и анонсировала два сюжетных DLC 3 ч.
Жертвы утечки данных Facebook через Cambridge Analytica начали получать выплаты от Цукерберга 4 ч.
Энтузиаст запустил классическую Doom на старом КПК и оставил работать — игра вылетела спустя два с половиной года 4 ч.
В мессенджере Max начинаются «открытые» тесты каналов — создавать их разрешат блогерам из реестра РКН 4 ч.
В России выплатили первую зарплату в цифровых рублях 5 ч.
На официальном сайте Like a Dragon засветилась Yakuza Kiwami 3 — Ryu Ga Gotoku Studio готовит анонс ремейка Yakuza 3 5 ч.
Microsoft обратилась к ИИ от Anthropic для Visual Studio Code — OpenAI больше не в почёте 7 ч.
«Базис» выходит на рынок Бразилии 7 ч.
iPhone 17 Pro обласкали в первых обзорах: «значительное обновление, вызывающее восторг» 2 мин.
СМИ и блогеры протестировали iPhone Air: «ультратонкий смартфон не без компромиссов» 22 мин.
Вышли первые обзоры iPhone 17: «лучший вариант базовой модели за последние годы» 33 мин.
Patriot представила два PCIe 5.0 SSD: Viper PV563 среднего уровня и PA523 — начального 51 мин.
Завтра утром недалеко от Земли пролетит огромный астероид 2025 FA22, и за ним можно понаблюдать онлайн 2 ч.
DJI представила компактный дрон Mini 5 Pro с дюймовым сенсором и повышенной автономностью 3 ч.
Новые детские умные часы Garmin Bounce 2 с отслеживанием и двусторонней связью оценены в $300 4 ч.
Дженсен Хуанг «разочарован», но «понимает» решение Китая о запрете импорта ускорителей Nvidia 4 ч.
Apple планирует выпустить в 2026 году MacBook Pro с сенсорным OLED-дисплеем 4 ч.
Премиальные холодильники Samsung начнут показывать рекламу — их обладатели на такое не соглашались 4 ч.