Сегодня 13 октября 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Intel завершила монтаж первого литографического сканера High-NA, который позволит выпускать чипы по технологии Intel 14A

Нидерландская компания ASML недавно уже осуществила пробную печать на кремниевой пластине с использованием созданного ею литографического сканера с высоким значением числовой апертуры (High-NA), и скоро подобный эксперимент повторит компания Intel, которая завершила монтаж первой системы Twinscan EXE:5000 в своём исследовательском центре в штате Орегон.

 Источник изображения: Intel

Источник изображения: Intel

Напомним, этот передовой литографический сканер в демонтированном состоянии ASML начала переправлять в США ещё в декабре, и только сейчас Intel получила все необходимые его составные части и завершила монтаж оборудования. Ещё какое-то время уйдёт на настройку, после чего Intel тоже сможет осуществить пробную печать токопроводящих линий на поверхности кремниевой пластины. Предполагается, что новый класс оборудования позволит печатать в 1,7 раза более компактные элементы на кремниевой пластине, и достигаемая плотность печати за один проход вырастет в 2,9 раза по сравнению с обычными EUV-сканерами. Напомним, что ASML на своём экземпляре аналогичной системы смогла напечатать линии с плотностью размещения 10 нм. Сочетание источника света с длиной волны 13,5 нм и оптики с высокой числовой апертурой теоретически позволяет Intel создавать элементы размером не более 8 нм.

Новый сканер Twinscan EXE:5000 будет использоваться компанией Intel для экспериментов с использованием техпроцесса Intel 18A, но в серийном производстве начнёт применяться только после перехода на техпроцесс Intel 14A в 2026 году или позже, причём для обработки лишь нескольких слоёв чипов, поскольку это определяется экономической целесообразностью. Intel собирается применять оборудование ASML с высоким значением числовой апертуры при выпуске чипов как минимум по трём поколениям техпроцессов.

Один сканер Twinscan EXE:5000 способен обрабатывать по 185 кремниевых пластин в час, а в будущем Intel рассчитывает получить от ASML сканер Twinscan EXE:5200B, который позволяет обрабатывать более 200 кремниевых пластин в час. Производительность подобного оборудования на практике, как поясняет Tom’s Hardware, будет ограничиваться уменьшенной площадью проекции, которую обеспечивает сканер с высоким значением числовой апертуры. Это одновременно ограничивает и размеры кристалла чипа, который можно получить за один проход. Intel собирается компенсировать это программно за счёт возможности «склейки» проекции кристалла из двух частей, а ASML попутно увеличивает скорость перемещения платформ, на которых закреплены кремниевые пластины и проекционное оборудование соответственно.

В любом случае, при стоимости около $400 млн за штуку литографическое оборудование с высоким значением числовой апертуры не может быть массовым, хотя ASML и уже располагает заказами на 10 или 20 таких систем, и недавно начала отгружать одну из них некоему второму клиенту, которым может оказаться бельгийская Imec. Компания Intel считает, что внедрение так называемой High-NA EUV технологии оправдывает себя с учётом необходимости освоения более совершенных структур транзисторов. Среди них упоминаются чипы с подводом питания с оборотной стороны кремниевой пластины, вертикально компонуемые транзисторы CFET и «самособирающиеся» на молекулярном уровне структуры. Следующий год Intel собирается посвятить подготовке оборудования High-NA EUV к условиям массового производства чипов по технологии Intel 14A. В рамках технологии Intel 18A оно будет применяться только в лабораторных условиях, но не на основном конвейере.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Пользователи ChatGPT снова могут удалять свои чаты безвозвратно 19 ч.
Арт-директор Halo покинул студию после 17 лет работы и намекнул на проблемы в команде разработчиков 20 ч.
Один из основателей ИИ-стартапа Thinking Machines переметнулся к Марку Цукербергу 22 ч.
Apple завершила поддержку своего бесплатного видеоредактора Clips 24 ч.
Новая статья: CloverPit — добро пожаловать в яму. Рецензия 12-10 00:07
Chrome сам будет блокировать уведомления с сайтов, которые пользователь игнорирует 11-10 14:40
ChatGPT прошёл стресс-тест на политическую предвзятость, но не безупречно 11-10 14:24
Telegram получил большое обновление: переписки в групповых звонках, комментарии к профилям и другие нововведения 11-10 11:57
Apple купит технологии компьютерного зрения и специалистов стартапа Prompt AI за «некоторую сумму» 11-10 11:01
На Apple подали в суд за обучение ИИ на пиратских копиях книг 11-10 08:06
Тайвань заявил, что не зависит от китайских редкоземельных металлов 2 ч.
Вложи $5 млн — получи $75 млн: NVIDIA похвасталась новыми рекордами в комплексном бенчмарке InferenceMAX v1 6 ч.
Новая статья: Обзор материнской платы MSI MPG B850I Edge Ti WiFi: не называй меня малышкой 7 ч.
ИИ спас США от рецессии, став единственным драйвером роста в 2025 году 16 ч.
Graphcore, спасённая SoftBank, воспрянула духом — штат в Великобритании удвоится, а в разработку в Индии инвестируют $1 млрд 16 ч.
В наши дни все высокопроизводительные вычисления связаны с ИИ, как считает глава AMD Лиза Су 23 ч.
Производство чипов в наши дни требует атомарной точности, как утверждает Applied Materials 23 ч.
Обострение между США и Китаем грозит серьёзным ударом по мировой индустрии чипов 12-10 06:11
Китай грозит отправить США в рецессию — новые санкции на редкоземельные металлы ударят по ИИ 11-10 23:34
Акции китайских чипмейкеров взлетели, но инвесторы опасаются перегрева рынка 11-10 23:20