Сегодня 17 июня 2024
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

Intel завершила монтаж первого литографического сканера High-NA, который позволит выпускать чипы по технологии Intel 14A

Нидерландская компания ASML недавно уже осуществила пробную печать на кремниевой пластине с использованием созданного ею литографического сканера с высоким значением числовой апертуры (High-NA), и скоро подобный эксперимент повторит компания Intel, которая завершила монтаж первой системы Twinscan EXE:5000 в своём исследовательском центре в штате Орегон.

 Источник изображения: Intel

Источник изображения: Intel

Напомним, этот передовой литографический сканер в демонтированном состоянии ASML начала переправлять в США ещё в декабре, и только сейчас Intel получила все необходимые его составные части и завершила монтаж оборудования. Ещё какое-то время уйдёт на настройку, после чего Intel тоже сможет осуществить пробную печать токопроводящих линий на поверхности кремниевой пластины. Предполагается, что новый класс оборудования позволит печатать в 1,7 раза более компактные элементы на кремниевой пластине, и достигаемая плотность печати за один проход вырастет в 2,9 раза по сравнению с обычными EUV-сканерами. Напомним, что ASML на своём экземпляре аналогичной системы смогла напечатать линии с плотностью размещения 10 нм. Сочетание источника света с длиной волны 13,5 нм и оптики с высокой числовой апертурой теоретически позволяет Intel создавать элементы размером не более 8 нм.

Новый сканер Twinscan EXE:5000 будет использоваться компанией Intel для экспериментов с использованием техпроцесса Intel 18A, но в серийном производстве начнёт применяться только после перехода на техпроцесс Intel 14A в 2026 году или позже, причём для обработки лишь нескольких слоёв чипов, поскольку это определяется экономической целесообразностью. Intel собирается применять оборудование ASML с высоким значением числовой апертуры при выпуске чипов как минимум по трём поколениям техпроцессов.

Один сканер Twinscan EXE:5000 способен обрабатывать по 185 кремниевых пластин в час, а в будущем Intel рассчитывает получить от ASML сканер Twinscan EXE:5200B, который позволяет обрабатывать более 200 кремниевых пластин в час. Производительность подобного оборудования на практике, как поясняет Tom’s Hardware, будет ограничиваться уменьшенной площадью проекции, которую обеспечивает сканер с высоким значением числовой апертуры. Это одновременно ограничивает и размеры кристалла чипа, который можно получить за один проход. Intel собирается компенсировать это программно за счёт возможности «склейки» проекции кристалла из двух частей, а ASML попутно увеличивает скорость перемещения платформ, на которых закреплены кремниевые пластины и проекционное оборудование соответственно.

В любом случае, при стоимости около $400 млн за штуку литографическое оборудование с высоким значением числовой апертуры не может быть массовым, хотя ASML и уже располагает заказами на 10 или 20 таких систем, и недавно начала отгружать одну из них некоему второму клиенту, которым может оказаться бельгийская Imec. Компания Intel считает, что внедрение так называемой High-NA EUV технологии оправдывает себя с учётом необходимости освоения более совершенных структур транзисторов. Среди них упоминаются чипы с подводом питания с оборотной стороны кремниевой пластины, вертикально компонуемые транзисторы CFET и «самособирающиеся» на молекулярном уровне структуры. Следующий год Intel собирается посвятить подготовке оборудования High-NA EUV к условиям массового производства чипов по технологии Intel 14A. В рамках технологии Intel 18A оно будет применяться только в лабораторных условиях, но не на основном конвейере.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Утечка: в открытый доступ попали наработки CD Projekt Red по отменённому дополнению к Cyberpunk 2077 на Луне 39 мин.
Хакеры рассказали, что похитили данные миллионов людей у Snowflake, взломав EPAM Systems 54 мин.
Alone in the Dark станет последней игрой Pieces Interactive — студию разработчиков Magicka 2 закрыла Embracer 4 ч.
На YouTube выложили полтора часа официального геймплея Elden Ring: Shadow of the Erdtree, а Bandai Namco предупредила игроков о спойлерах 5 ч.
Team Spirit стала чемпионом турнира Blast Premier: Spring Final 2024 по Counter-Strike 2, обыграв в финале NAVI 6 ч.
InXile посмеялась над утечкой сроков выхода Clockwork Revolution — стимпанковой RPG про путешествия во времени 7 ч.
Тодд Говард раскрыл масштаб дополнения Shattered Space к Starfield и подтвердил планы на будущие аддоны 7 ч.
Британский хакер, специалист по подмене сим-карт, арестован за взломы криптокошельков 12 ч.
В iOS 18 можно заменить «Привет, Siri» на любую другую фразу 13 ч.
Проблемы в Windows 11 продолжаются — новые сборки «съедают» ресурсы процессора 19 ч.
Logitech представила электронное перо MX Ink для VR-гарнитур Meta Quest 41 мин.
OnePlus и CATL разработали революционный аккумулятор для мобильных устройств 52 мин.
Робот-пылесос Dreame L10s Ultra и беспроводной пылесос Dreame J20 сделают уборку помещений простой и эффективной 5 ч.
Электролёт AeroHT X2 дочерней компании XPeng совершил первый полёт в небе над Пекином 5 ч.
Анонсированы смартфоны Oukitel C50, WP50 и WP39 с чипами MediaTek Dimensity 5G 5 ч.
Rambus представила набор решений PCIe 7.0, включая высокопроизводительный контроллер 5 ч.
Минпромторг РФ приостановил выделение субсидий на радиоэлектронику и проверит использование уже выделенных средств 6 ч.
Беспроводные колонки Tronsmart Halo 200 и T7, а также наушники Sounfii R4 для летнего отдыха 6 ч.
400G/800G для ИИ: спрос на оптическое сетевое оборудование для ЦОД растёт 7 ч.
Kioxia впервые за 20 месяцев перестала сокращать объёмы выпуска флеш-памяти 7 ч.