Сегодня 14 июня 2025
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
реклама
Новости Hardware

ASML признала, что не предложит ничего кроме кремния и лазеров для выпуска чипов и в следующем десятилетии

Ещё в мае являющаяся лидером в сегменте литографических сканеров компания ASML рассказала о перспективах появления к началу следующего десятилетия систем, позволяющих работать со сверхвысоким значением числовой апертуры — 0,75 (Hyper-NA EUV). Представители Imec утверждают, что и в следующем десятилетии литография не уйдёт от использования лазеров и кремния.

 Источник изображения: ASML

Источник изображения: ASML

Соответствующими соображениями в интервью EE Times поделился директор Imec по передовым программам экспозиции Курт Ронзе (Kurt Ronse). Эта бельгийская компания более 30 лет помогает ASML осваивать новые технологии при разработке литографических сканеров, поэтому говорить о перспективе их дальнейшего развития он имеет полное право. Уже сейчас, готовясь перейти к литографическим сканерам с высоким (0,55) значением числовой апертуры (High-NA EUV), производитель оборудования сталкивается с некоторыми проблемами.

В частности, при таком значении числовой апертуры уже начинает проявлять себя поляризация света, снижая контрастность проецируемого на кремниевую пластину изображения. Для борьбы с нею можно использовать поляризационные фильтры, но они повышают энергопотребление оборудования и себестоимость продукции. При переходе к Hyper-NA EUV, как поясняет представитель Imec, проблемой станет поиск новых фоторезистивных материалов, поскольку даже при значении числовой апертуры 0,55 толщина их слоя уменьшается, а это ухудшает точность последующего химического травления.

По словам Курта Ронзе, TSMC не торопится переходить на High-NA EUV благодаря наличию у компании опыта работы с множественными фотошаблонами. Intel таким опытом в достаточной мере не обладает, а потому предпочитает просто перейти на более дорогое оборудование с более высокой разрешающей способностью. Применение двойного шаблонирования потребовало бы более точного позиционирования фотомасок, компания Intel в этой сфере просто не обладает достаточным опытом. По мнению представителя Imec, компания TSMC решится перейти на использование High-NA EUV ближе к концу текущего десятилетия.

В общем случае, подобное оборудование найдёт своё применение при производстве чипов с использованием литографических норм тоньше 2 нм — вплоть до 7 ангстрем. После этого нужно будет применять литографические сканеры со сверхвысоким значением числовой апертуры (Hyper-NA EUV). Такой переход позволит отказаться от двойного шаблонирования, поскольку последний метод увеличивает затраты на оснастку и удлиняет производственный цикл, повышая себестоимость продукции.

Исследователи рассматривали несколько альтернатив литографическому оборудованию со сверхвысоким значением числовой апертуры, по данным Imec. Одной из них является технология нанопечати транзисторов, но по своей производительности данный метод сильно уступает даже сканеру High-NA EUV. Ещё одной альтернативой считалось использование нескольких направленных потоков электронов для формирования нужного рисунка на кремниевой пластине, но единственный производитель подходящего оборудования разорился.

Применение новых материалов вместо кремния пока тоже затруднено, как поясняет представитель Imec. Существуют материалы с более высокой подвижностью электронов, но их очень сложно нанести на пластину, которая при этом продолжит оставаться кремниевой. Оборудование для нанесения новых материалов будет сочетаться с новыми химикатами, и соответствующие эксперименты уже ведутся в лабораториях, но они пока далеки от массового применения.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме

window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Google разорвёт отношения со Scale AI после её сближения с Meta 2 ч.
ChatGPT научился искать в интернете по картинкам и давать более точные ответы 2 ч.
Scale AI получила от Meta более $14 млрд, но потеряла гендиректора и рискует лишиться крупных контрактов с Gooogle, Microsoft, OpenAI и xAI 4 ч.
ChatGPT попросил сообщить журналистам, что он пытается «ломать» людей 5 ч.
Apple не намерена переводить iPad на macOS, несмотря на движение iPadOS к macOS 5 ч.
Используя методы из психиатрии, учёные обнаружили сходство мышления человека и искусственного интеллекта 7 ч.
Sony сдалась и вернула в продажу почти все свои игры в Steam для стран без поддержки PSN 9 ч.
Google начала тестировать ИИ-функцию, которая превращает результаты поиска в подкаст 10 ч.
YouTube может снизить скорость видео для пользователя при обнаружении блокировщиков рекламы 16 ч.
Meta переманила основателя Scale AI и получила 49 % акций стартапа за $14,3 млрд 16 ч.
AMD представила Pensando Pollara 400 — первую 400-Гбит/с сетевую карту стандарта Ultra Ethernet 23 мин.
Asus ROG Astral GeForce RTX 5090 Dhahab Edition с автографом Дженсена Хуанга продали на аукционе за $24 200 56 мин.
Китайские учёные изготовили уникальный радиотелескоп для исследования тёмной энергии 2 ч.
Тайвань отправил в тюрьму капитана китайского судна, обвинив его в умышленном повреждении подводного кабеля 2 ч.
Intel выпустит недорогой шестиядерник Core 5 120F для платформы LGA 1700 2 ч.
Samsung запускает производство телевизоров с подсветкой RGB MicroLED — дешёвой альтернативой microLED 3 ч.
Apple внесла iPhone XS в список винтажных гаджетов 4 ч.
AWS переведёт ещё 100 дата-центров на использование очищенных сточных вод для охлаждения 5 ч.
В Калифорнийском университете попробовали охлаждать процессоры мокрой тряпкой и добились теплоотвода 800 Вт 6 ч.
Sony не увидела угрозы в Nintendo Switch 2 — для «ярких впечатлений на большом экране» нужна быстрая PS5 6 ч.