Сегодня 29 сентября 2023
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
Новости Hardware

В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В основе сканеров для полупроводниковой литографии лежат мощные источники излучения на базе лазеров. От качества и мощности лазеров зависит производительность сканеров и масштаб технологических норм, которых можно достичь на данном этапе производства. Кое-что новое в этой области подготовила японская компания Gigaphoton.

 Разнообразие лазерной продукции Gigaphoton

Разнообразие лазерной продукции Gigaphoton

В пятницу компания Gigaphoton сообщила о готовности поставлять клиентам две новые модели эксимерных лазеров ArF (193 нм) и KrF (248 нм). В первом случае речь идёт о модели GT66A для иммерсионной литографии (с погружением в жидкость), а во втором ― о модели G60K. Оба новых лазера обещают привнести новейшие технологии в литографическую печать полупроводников, что требуется для изготовления более быстрых и более плотных интегральных схем. В том числе для новейших направлений в виде искусственного интеллекта, Интернета вещей и сотовой связи 5-го поколения.

Новый иммерсионный лазер GT66A ArF оснащен новейшим оптическим модулем для уменьшения пространственной когерентности и улучшения однородности луча на поверхности для проекции. Лазер G60K KrF представляет собой ― впервые за последние 15 лет ― полностью изменённую модель. За счёт нового блока питания лазера его мощность повышена в 1,5 раза. Это означает, что скорость обработки кремниевых пластин сканерами с лазерами G60K можно будет ощутимо увеличить.

Одним из клиентов на лазеры ArF и KrF компании Gigaphoton является нидерландская компания ASML. Правда, для сканеров диапазона EUV компания ASML использует лазеры собственного производства. Для этого она в 2012 году купила американскую компанию Cymer. Тем самым источники EUV-излучения Gigaphoton так и не стали массовым продуктом для выпуска литографического оборудования для производства чипов. Компания ASML стала единственным поставщиком сканеров EUV, полностью вытолкнув из этой перегретой конкурентной ниши японские Nikon и Canon. Но это уже другая история.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме
window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
«Спасибо за убитую игру»: фанаты раскритиковали Valve за «ужасную оптимизацию» Counter-Strike 2 и потребовали вернуть CS:GO 2 ч.
Epic Games Store устроил раздачу Soulstice — ролевого слешера с «Молчуньей» из MGS V: The Phantom Pain в главной роли 3 ч.
Предпоследнее дополнение к Pathfinder: Wrath of the Righteous показалось из тени — тизер и дата выхода «Властелина Ничего» 4 ч.
Cyberpunk 2077: Phantom Liberty, Quake II и другие игры появились в GeForce NOW 4 ч.
Переписки пользователей с ИИ-ботом Bard всплыли в поиске Google 5 ч.
Патентное ведомство США не хочет отказываться от факсов, но готово переехать в облако 5 ч.
«Мы тратим больше, чем зарабатываем»: Epic Games уволила более 800 сотрудников и признала, что Fortnite уже не такая прибыльная 5 ч.
Adobe выпустила веб-версию Photoshop со встроенным ИИ — она платная, но предоставляет много возможностей 6 ч.
Поддержка Cyberpunk 2077 почти завершена — патч 2.0 и дополнение Phantom Liberty были последними крупными обновлениями 6 ч.
Apple не удалось уклониться от иска по поводу монополии Apple Pay — теперь делом займётся суд 7 ч.
Новая статья: Практикум по ИИ-рисованию, часть пятая: перипл для латентного пространства 13 мин.
Высокогорный Wi-Fi: Huawei и China Mobile развернули на Эвересте сеть FTTR-B для туристов и бизнеса 5 ч.
NVIDIA проведёт в октябре AI Summit — на нём выступит Дженсен Хуанг 6 ч.
Azure локально: Dell объявила о доступности APEX Cloud Platform for Azure 6 ч.
Глава разработки ИИ-чипов Meta уйдёт с должности 7 ч.
Qualcomm представила мощный и быстрый VR-чип Snapdragon XR2 Gen 2 и максимально экономичный AR1 Gen 1 для смарт-очков 8 ч.
Учёные смоделировали столкновения спутников Сатурна — так рождались его кольца 9 ч.
Россияне стали чаще менять смартфоны и переходить на новые бренды — самая лояльная аудитория у Apple 10 ч.
NASA и ВВС США получили первое аэротакси Joby Aviation — они оценят его на пригодность к спецоперациям и не только 10 ч.
Грядёт «iPhone в мире ИИ» — Джони Айв и Open AI создадут революционное устройство на деньги SoftBank 11 ч.