Новости Hardware

В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В основе сканеров для полупроводниковой литографии лежат мощные источники излучения на базе лазеров. От качества и мощности лазеров зависит производительность сканеров и масштаб технологических норм, которых можно достичь на данном этапе производства. Кое-что новое в этой области подготовила японская компания Gigaphoton.

Разнообразие лазерной продукции Gigaphoton

Разнообразие лазерной продукции Gigaphoton

В пятницу компания Gigaphoton сообщила о готовности поставлять клиентам две новые модели эксимерных лазеров ArF (193 нм) и KrF (248 нм). В первом случае речь идёт о модели GT66A для иммерсионной литографии (с погружением в жидкость), а во втором ― о модели G60K. Оба новых лазера обещают привнести новейшие технологии в литографическую печать полупроводников, что требуется для изготовления более быстрых и более плотных интегральных схем. В том числе для новейших направлений в виде искусственного интеллекта, Интернета вещей и сотовой связи 5-го поколения.

Новый иммерсионный лазер GT66A ArF оснащен новейшим оптическим модулем для уменьшения пространственной когерентности и улучшения однородности луча на поверхности для проекции. Лазер G60K KrF представляет собой ― впервые за последние 15 лет ― полностью изменённую модель. За счёт нового блока питания лазера его мощность повышена в 1,5 раза. Это означает, что скорость обработки кремниевых пластин сканерами с лазерами G60K можно будет ощутимо увеличить.

Одним из клиентов на лазеры ArF и KrF компании Gigaphoton является нидерландская компания ASML. Правда, для сканеров диапазона EUV компания ASML использует лазеры собственного производства. Для этого она в 2012 году купила американскую компанию Cymer. Тем самым источники EUV-излучения Gigaphoton так и не стали массовым продуктом для выпуска литографического оборудования для производства чипов. Компания ASML стала единственным поставщиком сканеров EUV, полностью вытолкнув из этой перегретой конкурентной ниши японские Nikon и Canon. Но это уже другая история.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Материалы по теме
Прежде чем оставить комментарий, пожалуйста, ознакомьтесь с правилами комментирования. Оставляя комментарий, вы подтверждаете ваше согласие с данными правилами и осознаете возможную ответственность за их нарушение.
Все комментарии премодерируются.
Комментарии загружаются...
window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
Роскомнадзор разблокировал площадку для продажи вещей ручной работы Etsy 2 ч.
Гендиректор VK Борис Добродеев подал в отставку, его может сменить Владимир Кириенко 2 ч.
«ВКонтакте» открыла просмотр и поиск по видео для незарегистрированных пользователей 4 ч.
Разработчик Destroy All Humans и Comanche поможет в создании игры по «Дюне» 4 ч.
В Final Fantasy XIV зарегистрировано уже более 25 млн игроков 5 ч.
Ремастер Quake получил обновление с режимом «Орда» и сюжетным дополнением Honey от MachineGames 5 ч.
Авторы ролевого экшена Lies of P польщены сравнениями с Bloodborne, но подражать хиту FromSoftware не стремились 5 ч.
В России расставлены приоритеты по развитию искусственного интеллекта 5 ч.
Стартовало голосование за пользовательскую игру года на The Game Awards 2021 — в лидерах оказалась Halo Infinite 6 ч.
Создатели Dying Light 2 показали прохождение сюжетного квеста и анонсировали раздачи двух своих игр 7 ч.