Сегодня 24 сентября 2023
18+
MWC 2018 2018 Computex IFA 2018
Новости Hardware

В 2020 году сканеры для полупроводниковой литографии получат новые лазеры

В основе сканеров для полупроводниковой литографии лежат мощные источники излучения на базе лазеров. От качества и мощности лазеров зависит производительность сканеров и масштаб технологических норм, которых можно достичь на данном этапе производства. Кое-что новое в этой области подготовила японская компания Gigaphoton.

 Разнообразие лазерной продукции Gigaphoton

Разнообразие лазерной продукции Gigaphoton

В пятницу компания Gigaphoton сообщила о готовности поставлять клиентам две новые модели эксимерных лазеров ArF (193 нм) и KrF (248 нм). В первом случае речь идёт о модели GT66A для иммерсионной литографии (с погружением в жидкость), а во втором ― о модели G60K. Оба новых лазера обещают привнести новейшие технологии в литографическую печать полупроводников, что требуется для изготовления более быстрых и более плотных интегральных схем. В том числе для новейших направлений в виде искусственного интеллекта, Интернета вещей и сотовой связи 5-го поколения.

Новый иммерсионный лазер GT66A ArF оснащен новейшим оптическим модулем для уменьшения пространственной когерентности и улучшения однородности луча на поверхности для проекции. Лазер G60K KrF представляет собой ― впервые за последние 15 лет ― полностью изменённую модель. За счёт нового блока питания лазера его мощность повышена в 1,5 раза. Это означает, что скорость обработки кремниевых пластин сканерами с лазерами G60K можно будет ощутимо увеличить.

Одним из клиентов на лазеры ArF и KrF компании Gigaphoton является нидерландская компания ASML. Правда, для сканеров диапазона EUV компания ASML использует лазеры собственного производства. Для этого она в 2012 году купила американскую компанию Cymer. Тем самым источники EUV-излучения Gigaphoton так и не стали массовым продуктом для выпуска литографического оборудования для производства чипов. Компания ASML стала единственным поставщиком сканеров EUV, полностью вытолкнув из этой перегретой конкурентной ниши японские Nikon и Canon. Но это уже другая история.

Источник:

Если вы заметили ошибку — выделите ее мышью и нажмите CTRL+ENTER.
Вечерний 3DNews
Каждый будний вечер мы рассылаем сводку новостей без белиберды и рекламы. Две минуты на чтение — и вы в курсе главных событий.
Материалы по теме
window-new
Soft
Hard
Тренды 🔥
400 тыс. новых вирусов каждый день: «Лаборатория Касперского» заявила о глобальном росте числа кибератак 52 мин.
Nintendo сделала шаг в будущее без паролей: заработал вход в аккаунт Nintendo через Passkey 4 ч.
Новая статья: Dune: Spice Wars — дождевой червяк вместо Шаи-Хулуда. Рецензия 11 ч.
Resident Evil Village для iPhone и iPad выйдет 30 октября 18 ч.
Microsoft обогатила мобильную клавиатуру SwiftKey ИИ-функциями — умные подсказки, проверка текста и генерация картинок и стикеров 19 ч.
Клиентов российских хостингов будут идентифицировать через «Госуслуги» или по паспорту 21 ч.
ИИ-генераторы текстов и изображений оказались экологичнее живых писателей и художников 23 ч.
В приложениях Threads появилось переключение учётных записей — на подходе редактирование публикаций 24 ч.
Apple устранила три уязвимости нулевого дня, которые эксплуатировали злоумышленники 23-09 11:02
Операционной системой HarmonyOS пользуются около 600 млн человек, Huawei привлекает к экосистеме новых партнёров 23-09 07:34
Apple iPhone 15 Plus стал рекордсменом по продолжительности работы аккумулятора 4 ч.
Американская Lucid Motors получила разрешение на выпуск электромобилей в Саудовской Аравии 4 ч.
В Остине роботизированные такси Cruise создали затор на перекрёстке и быстро его усугубили 4 ч.
Смартфоны iPhone 15 поддерживают проводное подключение к интернету — быстрее, чем по Wi-Fi 6 ч.
Solidigm представила SSD P5810 на памяти SLC для нагрузок с активной записью данных 13 ч.
Найден путь к массовому производству атомарно тонких нитей из фосфора с мышьяком — это обещает улучшить аккумуляторы, фотопанели и датчики 19 ч.
Производитель аппаратных ключей безопасности Yubico вышел на биржу 21 ч.
В ранней Вселенной оказалось намного больше галактик, похожих на нашу — это заставит переписать теории эволюции космоса 21 ч.
В России создали биопринтер для печати мягких тканей прямо на ранах пациентов 24 ч.
Созданы наушники с датчиком ЭЭГ, которые проследят за здоровьем мозга и порекомендуют музыку для настроения 24 ч.